Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. доктора физико-математических наук : 05.27.01
Москва, 1995
Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. доктора физико-математических наук : 05.27.01
Москва, 1995
Библиографическое описание
Васильев, Андрей Георгиевич. Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. — Москва, 1995. — 35 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000030747
Автор
Заглавие
Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. доктора физико-математических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
1995
Объем
35 с.
Ответственность
Рос. академия наук
ББК
З844.15-060.7-1,0
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. доктора физико-математических наук : 05.27.01» ББК:З844.15-060.7-1,0, автора Васильев А.Г. Документ был издан в 1995 году. Содержит 35 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
LDR
01752nam a2200349 i 4500
001
000030747
003
RuMoRGB
005
20080123130015.0
008
960715s1995 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 95-10163А
$b: RuMoRKP
$a: 95-10163А
$b: RuMoRKP
017
##
$a: 96-282А
$b: RuMoRKP
$a: 96-282А
$b: RuMoRKP
017
##
$a: 95-10163А
$b: RuMoRKP
$a: 95-10163А
$b: RuMoRKP
017
##
$a: 96-282А
$b: RuMoRKP
$a: 96-282А
$b: RuMoRKP
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0031064
$a: (RuMoRGB)DIS-0031064
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З844.15-060.7-1,0
$2: rubbk
$a: З844.15-060.7-1,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Васильев, Андрей Георгиевич
$a: Васильев, Андрей Георгиевич
245
##
$a: Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники :
$b: автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
$c: Рос. академия наук
$a: Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники :
$b: автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
$c: Рос. академия наук
260
##
$a: Москва
$c: 1995
$a: Москва
$c: 1995
300
##
$a: 35 с.
$a: 35 с.
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
787
11
$w: 000163574
$i: Диссертация
$w: 000163574
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 95-5/122-9
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 95-5/122-9
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 95-5/123-7
$x: 82
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 95-5/123-7
$x: 82
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 96-1/540-7
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 96-1/540-7
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 96-1/541-5
$x: 82
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 96-1/541-5
$x: 82
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000030000/rsl01000030747/rsl01000030747.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000030000/rsl01000030747/rsl01000030747.pdf
$y: Читать