Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Андреев, Андрей Юрьевич. Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. — Горький, 1990. — 19 с..
Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 01.04.10
## $a: Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка : $b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 $c: Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
260
## $a: Горький $c: 1990
300
## $a: 19 с.
650
#1 $a: Физика полупроводников и диэлектриков $2: nsnr