Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом оже-электронной спектроскопии
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.19
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.19
Саратов, 1996
Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом оже-электронной спектроскопии
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.19
Саратов, 1996
Библиографическое описание
Скопировать
Гельбух, Сергей Сергеевич. Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом оже-электронной спектроскопии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.19. — Саратов, 1996. — 140 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000144897
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом оже-электронной спектроскопии : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.19
Место издания
Саратов
Год издания
1996
Объем
140 с.
ББК
Г582с16,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
ниобий, кремний
Библиотека
LDR
01270nam a2200289 i 4500
001
000144897
003
RuMoRGB
005
20071029120000.0
008
970522s1996 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д5696-96
$b: RuMoRGB
$a: д5696-96
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0389770
$a: (RuMoRGB)DIS-0389770
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.19
$a: 01.04.19
084
##
$a: Г582с16,0
$a: Г582с16,0
100
1#
$a: Гельбух, Сергей Сергеевич
$a: Гельбух, Сергей Сергеевич
245
##
$a: Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом оже-электронной спектроскопии :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.19
$a: Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом оже-электронной спектроскопии :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.19
260
##
$a: Саратов
$c: 1996
$a: Саратов
$c: 1996
300
##
$a: 140 с.
$b: ил.
$a: 140 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 136-140
$a: Библиогр.: с. 136-140
650
#1
$a: Физика полимеров
$a: Физика полимеров
653
##
$a: ниобий
$a: ниобий
653
##
$a: кремний
$a: кремний
787
11
$i: Автореферат
$w: 000032047
$i: Автореферат
$w: 000032047
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 96-1/616
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 96-1/616
$x: 39
LKR
##
$a: PAR
$b: 000032047
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$b: 000032047
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом оже-электронной спектроскопии : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.19 » , автор — Гельбух С.С.. Документ был опубликован в 1996 году. Место издания — Саратов. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.