Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике
диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11
диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11
Санкт-Петербург, 1994
Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике
диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11
Санкт-Петербург, 1994
Библиографическое описание
Скопировать
Иванов, Алексей Сергеевич. Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11. — Санкт-Петербург, 1994. — 147 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000151947
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : диссертация . кандидата технических наук : 05.02.11
Место издания
Санкт-Петербург
Год издания
1994
Объем
147 с.
ББК
з843.322.4-1с34,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
лазерные методы контроля
Библиотека
LDR
01274nam a2200277 i 4500
001
000151947
003
RuMoRGB
005
20071029120000.0
008
961118s1994 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д7091-96
$b: RuMoRGB
$a: д7091-96
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0374925
$a: (RuMoRGB)DIS-0374925
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.02.11
$2: nsnr
$a: 05.02.11
$2: nsnr
084
##
$a: з843.322.4-1с34,0
$2: rubbk
$a: з843.322.4-1с34,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Иванов, Алексей Сергеевич
$a: Иванов, Алексей Сергеевич
245
##
$a: Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11
$a: Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.11
260
##
$a: Санкт-Петербург
$c: 1994
$a: Санкт-Петербург
$c: 1994
300
##
$a: 147 с.
$a: 147 с.
504
##
$a: Библиогр.: с. 140-147
$a: Библиогр.: с. 140-147
650
#1
$a: Методы контроля и диагностика в машиностроении
$2: nsnr
$a: Методы контроля и диагностика в машиностроении
$2: nsnr
653
##
$a: лазерные методы контроля
$a: лазерные методы контроля
787
11
$w: 000029303
$i: Автореферат
$w: 000029303
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 96-5/1332
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 96-5/1332
$x: 39
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000029303
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000029303
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : диссертация . кандидата технических наук : 05.02.11 » , автор — Иванов А.С.. Документ был опубликован в 1994 году. Место издания — Санкт-Петербург. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.