Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14
Санкт-Петербург, 1996
Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14
Санкт-Петербург, 1996
Библиографическое описание
Скопировать
Михайлов, Анатолий Васильевич. Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14. — Санкт-Петербург, 1996. — 144 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000159716
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.14
Место издания
Санкт-Петербург
Год издания
1996
Объем
144 с.
ББК
К960.420.253-1,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
высококачественные покрытия
Библиотека
LDR
01320nam a2200277 i 4500
001
000159716
003
RuMoRGB
005
20160209141025.0
008
970806s1996 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д1427-97
$b: RuMoRGB
$a: д1427-97
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0392912
$a: (RuMoRGB)DIS-0392912
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.11.14
$2: nsnr
$a: 05.11.14
$2: nsnr
084
##
$a: К960.420.253-1,0
$2: rubbk
$a: К960.420.253-1,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Михайлов, Анатолий Васильевич
$a: Михайлов, Анатолий Васильевич
245
##
$a: Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14
$a: Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14
260
##
$a: Санкт-Петербург
$c: 1996
$a: Санкт-Петербург
$c: 1996
300
##
$a: 144 с.
$b: ил.
$a: 144 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 124-138
$a: Библиогр.: с. 124-138
650
#1
$a: Технология приборостроения
$2: nsnr
$a: Технология приборостроения
$2: nsnr
653
##
$a: высококачественные покрытия
$a: высококачественные покрытия
787
11
$w: 000027957
$i: Автореферат
$w: 000027957
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 97-5/277
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 97-5/277
$x: 39
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000027957
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000027957
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Исследование и разработка метода ионно-плазменного распыления с напряжением смещения для получения высококачественных оптических покрытий : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.14 » , автор — Михайлов А.В.. Документ был опубликован в 1996 году. Место издания — Санкт-Петербург. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.