Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация . доктора физико-математических наук : 05.27.01
Москва, 1995
Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация . доктора физико-математических наук : 05.27.01
Москва, 1995
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Васильев, Андрей Георгиевич. Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01. — Москва, 1995. — 307 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000163574
Каталог
Автор
Заглавие
Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация . доктора физико-математических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
1995
Объем
307 с.
ББК
з844.15-060.7-1,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
технология микроэлектроники
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам читать онлайн в Электронном Читальном Зале (ЭЧЗ) диссертацию (автореферат) на тему «Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : диссертация . доктора физико-математических наук : 05.27.01» ББК:з844.15-060.7-1,0, автора Васильев А.Г. Документ был издан в 1995 году. Содержит 307 с. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
LDR
01637nam a2200313 i 4500
001
000163574
003
RuMoRGB
005
20230607114054.0
008
971030s1995 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д7171-97
$b: RuMoRGB
$a: д7171-97
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0353700
$a: (RuMoRGB)DIS-0353700
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: з844.15-060.7-1,0
$2: rubbk
$a: з844.15-060.7-1,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Васильев, Андрей Георгиевич
$a: Васильев, Андрей Георгиевич
245
##
$a: Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники :
$b: диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
$a: Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники :
$b: диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
260
##
$a: Москва
$c: 1995
$a: Москва
$c: 1995
300
##
$a: 307 с.
$b: ил.
$a: 307 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 277-300
$a: Библиогр.: с. 277-300
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
653
##
$a: технология микроэлектроники
$a: технология микроэлектроники
787
11
$w: 000030747
$i: Автореферат
$w: 000030747
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 71 97-1/183-4
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 71 97-1/183-4
$x: 81
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000163000/rsl01000163574/rsl01000163574.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000163000/rsl01000163574/rsl01000163574.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000030747
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000030747
$m: Диссертация
$n: Автореферат