Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС
диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Ярославль, 1995
Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС
диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Ярославль, 1995
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Смирнов, Валерий Константинович. Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01. — Ярославль, 1995. — 315 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000169194
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : диссертация . доктора физико-математических наук : 05.27.01
Место издания
Ярославль
Год издания
1995
Объем
315 с.
ББК
з844.152-015с38,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
структуры СБИС
Библиотека
LDR
01426nam a2200313 i 4500
001
000169194
003
RuMoRGB
005
20230607114844.0
008
971226s1995 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д9294-97
$b: RuMoRGB
$a: д9294-97
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0354928
$a: (RuMoRGB)DIS-0354928
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: з844.152-015с38,0
$2: rubbk
$a: з844.152-015с38,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Смирнов, Валерий Константинович
$a: Смирнов, Валерий Константинович
245
##
$a: Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС :
$b: диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
$a: Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС :
$b: диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
260
##
$a: Ярославль
$c: 1995
$a: Ярославль
$c: 1995
300
##
$a: 315 с.
$b: ил.
$a: 315 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 288-315
$a: Библиогр.: с. 288-315
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
653
##
$a: структуры СБИС
$a: структуры СБИС
787
11
$w: 000028724
$i: Автореферат
$w: 000028724
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 71 97-1/279
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 71 97-1/279
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000169000/rsl01000169194/rsl01000169194.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000169000/rsl01000169194/rsl01000169194.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000028724
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000028724
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : диссертация . доктора физико-математических наук : 05.27.01 » , автор — Смирнов В.К.. Документ был опубликован в 1995 году. Место издания — Ярославль. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : диссертация . доктора физико-математических наук : 05.27.01 » в удобной системе просмотра документов.