## $a: Электронная микроскопия имплантированных структур на основе карбида кремния : $b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 $c: Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе РАН
260
## $a: Санкт-Петербург $c: 1999
300
## $a: 16 с.
650
#1 $a: Физика полупроводников и диэлектриков $2: nsnr
720
1# $a: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук