Исследование процессов низкотемпературного плазмостимулированного роста пленок диоксида циркония стабилизированного иттрием : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Исследование процессов низкотемпературного плазмостимулированного роста пленок диоксида циркония стабилизированного иттрием : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Ярославль
Место издания
1999
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_000247955
Каталог
Автор
Наумов В.В.
Заглавие
Исследование процессов низкотемпературного плазмостимулированного роста пленок диоксида циркония стабилизированного иттрием : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Место издания
Ярославль
Год издания
1999
Объем
24 с.
Ответственность
Ин-т микроэлектроники РАН
ББК
В375.14-6,03
Язык
Русский
Еще
Библиотека
017
##
$a: 99-2755А
$b: RuMoRKP
$a: 99-2755А
$b: RuMoRKP
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0248421
$a: (RuMoRGB)DIS-0248421
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: В375.14-6,03
$2: rubbk
$a: В375.14-6,03
$2: rubbk
100
1#
$a: Наумов, Виктор Васильевич
$a: Наумов, Виктор Васильевич
245
##
$a: Исследование процессов низкотемпературного плазмостимулированного роста пленок диоксида циркония стабилизированного иттрием :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
$c: Ин-т микроэлектроники РАН
$a: Исследование процессов низкотемпературного плазмостимулированного роста пленок диоксида циркония стабилизированного иттрием :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
$c: Ин-т микроэлектроники РАН
260
##
$a: Ярославль
$c: 1999
$a: Ярославль
$c: 1999
300
##
$a: 24 с.
$a: 24 с.
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
787
11
$w: 000199913
$i: Диссертация
$w: 000199913
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 99-2/1020-9
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 99-2/1020-9
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 99-2/1021-7
$x: 82
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 99-2/1021-7
$x: 82
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb