Осаждение пленок и отжиг рациональных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Осаждение пленок и отжиг рациональных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Таганрог
Место издания
1995
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_000337741
Каталог
Автор
Поляков В.В.
Заглавие
Осаждение пленок и отжиг рациональных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Место издания
Таганрог
Год издания
1995
Объем
16 с.
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Осаждение пленок и отжиг рациональных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений : : автореферат дис. .. кандидата технических наук : 05.27.01» , автора Поляков В.В. Документ был издан в 1995 году. Содержит 16 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
035
##
$a: (RuMoEDL)-96k30018
$a: (RuMoEDL)-96k30018
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
100
1#
$a: Поляков, Вадим Витальевич
$a: Поляков, Вадим Витальевич
245
##
$a: Осаждение пленок и отжиг рациональных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$a: Осаждение пленок и отжиг рациональных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
260
##
$a: Таганрог
$c: 1995
$a: Таганрог
$c: 1995
300
##
$a: 16 с.
$b: ил
$a: 16 с.
$b: ил
504
##
$a: Библиогр.: с. 0
$a: Библиогр.: с. 0
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000337000/rsl01000337741/rsl01000337741.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000337000/rsl01000337741/rsl01000337741.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dlopen
$a: dlopen