Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
## $a: Получение и свойства ультратонких пленок аморфного кремния и многослойных периодических наноструктур на их основе : $b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 $c: Нижегор. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
260
## $a: Нижний Новгород $c: 2002
300
## $a: 20 с.
650
#1 $a: Физика полупроводников $2: nsnr
720
1# $a: Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского