Перспективные направления микротехнологии : Учеб. пособие
Санкт-Петербург, 1997
Перспективные направления микротехнологии : Учеб. пособие
Санкт-Петербург, 1997
Библиографическое описание
Смирнов, Александр Дмитриевич. Перспективные направления микротехнологии : Учеб. пособие / А. Д. Смирнов, В. Я. Урицкий; М-во общ. и проф. образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т. — СПб., 1997. — 30 с. : ил. : 20 см.; ISBN 5-7629-0198-X.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000576813
Каталог
Автор
Заглавие
Перспективные направления микротехнологии : Учеб. пособие
Место издания
Санкт-Петербург
Год издания
1997
Объем
30 с.
Ответственность
А. Д. Смирнов, В. Я. Урицкий; М-во общ. и проф. образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т
ISBN
5-7629-0198-X
ББК
З844.15-06я73-1
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01116nam a2200241 i 4500
001
000576813
003
RuMoRGB
005
19981026120000.0
008
981006s1997 ru |||| |00 u rus d
017
##
$a: 98-33296
$b: RuMoRKP
$a: 98-33296
$b: RuMoRKP
020
##
$a: 5-7629-0198-X
$c: 50 экз.
$a: 5-7629-0198-X
$c: 50 экз.
035
##
$a: (RuMoRGB)KNO-0017145
$a: (RuMoRGB)KNO-0017145
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
084
##
$a: З844.15-06я73-1
$2: rubbk
$a: З844.15-06я73-1
$2: rubbk
100
1#
$a: Смирнов, Александр Дмитриевич
$a: Смирнов, Александр Дмитриевич
245
##
$a: Перспективные направления микротехнологии :
$b: Учеб. пособие
$c: А. Д. Смирнов, В. Я. Урицкий; М-во общ. и проф. образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т
$a: Перспективные направления микротехнологии :
$b: Учеб. пособие
$c: А. Д. Смирнов, В. Я. Урицкий; М-во общ. и проф. образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т
260
##
$a: СПб.
$c: 1997
$a: СПб.
$c: 1997
300
##
$a: 30 с.
$b: ил.
$c: 20 см
$a: 30 с.
$b: ил.
$c: 20 см
504
##
$a: Библиогр. в конце кн.
$a: Библиогр. в конце кн.
650
#1
$a: Интегральные схемы -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
$a: Интегральные схемы -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
700
1#
$a: Урицкий, Валерий Яковлевич
$a: Урицкий, Валерий Яковлевич
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 3 98-17/586-6
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 3 98-17/586-6
$x: 90