Нитрид кремния в электронике
Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1982
Нитрид кремния в электронике
Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1982
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Нитрид кремния в электронике / [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.]; Отв. ред. А. В. Ржанов. — Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1982. — 200 с. : ил. : 21 см..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_001082955
Каталог
Коллекции
Заглавие
Нитрид кремния в электронике
Место издания
Новосибирск
Издательство
Год издания
1982
Объем
200 с.
Ответственность
[В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.]; Отв. ред. А. В. Ржанов
ББК
24.3
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
Кремний, нитрид, Микроэлектронные схемы интегральные - Материалы
Общее примечание
В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии
Еще
Библиотека
LDR
01743nam a2200373 i 4500
001
001082955
003
RuMoRGB
005
20180312131344.0
008
020227s1982 ||| || u ||rus d
017
##
$a: 82-23711
$b: RuMoRKP
$a: 82-23711
$b: RuMoRKP
020
##
$c: 2 р. 40 к.
$c: 2 р. 40 к.
035
##
$a: (RuMoRKP)ru82-23711
$a: (RuMoRKP)ru82-23711
040
##
$a: RKP
$b: rus
$e: rcr
$a: RKP
$b: rus
$e: rcr
041
##
$a: rus
$a: rus
080
##
$a: 621.382.049.77.002.3:661.55
$a: 621.382.049.77.002.3:661.55
084
##
$a: 24.3
$2: rueskl
$a: 24.3
$2: rueskl
245
1#
$a: Нитрид кремния в электронике
$c: [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.]; Отв. ред. А. В. Ржанов
$a: Нитрид кремния в электронике
$c: [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.]; Отв. ред. А. В. Ржанов
260
##
$a: Новосибирск
$b: Наука
$b: Сиб. отд-ние
$c: 1982
$a: Новосибирск
$b: Наука
$b: Сиб. отд-ние
$c: 1982
300
##
$a: 200 с.
$b: ил.
$c: 21 см.
$a: 200 с.
$b: ил.
$c: 21 см.
500
##
$a: В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии
$a: В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии
500
##
$a: Авт. указаны на обороте тит. л.
$a: Авт. указаны на обороте тит. л.
504
##
$a: Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.)
$a: Библиогр.: с. 186-198 (285 назв.)
653
##
$a: Кремний, нитрид
$a: Кремний, нитрид
653
##
$a: Микроэлектронные схемы интегральные - Материалы
$a: Микроэлектронные схемы интегральные - Материалы
700
1#
$a: Белый, Вячеслав Иванович
$e: авт.
$a: Белый, Вячеслав Иванович
$e: авт.
700
1#
$a: Васильева, Л.Л.
$e: авт.
$a: Васильева, Л.Л.
$e: авт.
700
1#
$a: Грищенко, В.А.
$e: авт.
$a: Грищенко, В.А.
$e: авт.
700
1#
$a: Ржанов, Анатолий Васильевич
$e: ред.
$a: Ржанов, Анатолий Васильевич
$e: ред.
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$c: D16S
$j: Б 82-18/111
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D16S
$j: Б 82-18/111
$x: 90
852
##
$a: РГБ
$b: ARCH
$x: 70
$a: РГБ
$b: ARCH
$x: 70
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$c: D16S
$j: Б 82-18/112
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D16S
$j: Б 82-18/112
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01001000000/rsl01001082000/rsl01001082955/rsl01001082955.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01001000000/rsl01001082000/rsl01001082955/rsl01001082955.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Нитрид кремния в электронике » , автор — [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др.]; Отв. ред. А. В. Ржанов. Документ был опубликован в 1982 году. Место издания — Новосибирск. Издательство — Наука, Сиб. отд-ние. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Нитрид кремния в электронике » в удобной системе просмотра документов.