Нанотехнологии в полупроводниковой электронике : : монография
Нанотехнологии в полупроводниковой электронике : : монография
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектронике.
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_002508473
Каталог
Автор
[Н. Н. Михайлов и др.] ; отв. ред. А. Л. Асеев ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
Заглавие
Нанотехнологии в полупроводниковой электронике : : монография
Место издания
Новосибирск
Издательство
Изд-во Сиб. отд-ния Рос. акад. наук
Год издания
2004
Объем
367 с.
Ответственность
[Н. Н. Михайлов и др.] ; отв. ред. А. Л. Асеев ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
ISBN
5-7692-0680-2
ББК
З844.19-06,07, З843.308,07
Ключевые слова
эпитаксия молекулярно-лучевая, наноструктурирование, наноструктуры - диагностика
Общее примечание
Авт. указаны в содерж.
Еще
Библиотека
017
##
$a: 04-54669
$b: RuMoRKP
$a: 04-54669
$b: RuMoRKP
020
##
$a: 5-7692-0680-2
$c: 500
$a: 5-7692-0680-2
$c: 500
035
##
$a: (LIBNET)RU\NLR\bibl\568712
$a: (LIBNET)RU\NLR\bibl\568712
040
##
$a: NLR
$b: rus
$c: NLR
$e: rcr
$d: RuMoRGB
$d: RuMoRKP
$a: NLR
$b: rus
$c: NLR
$e: rcr
$d: RuMoRGB
$d: RuMoRKP
041
##
$a: rus
$a: rus
044
##
$a: ru
$a: ru
080
##
$a: 621.38
$a: 621.38
084
##
$a: З844.19-06,07
$2: rubbk
$a: З844.19-06,07
$2: rubbk
084
##
$a: З843.308,07
$2: rubbk
$a: З843.308,07
$2: rubbk
245
##
$a: Нанотехнологии в полупроводниковой электронике :
$b: [монография]
$c: [Н. Н. Михайлов и др.] ; отв. ред. А. Л. Асеев ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
$a: Нанотехнологии в полупроводниковой электронике :
$b: [монография]
$c: [Н. Н. Михайлов и др.] ; отв. ред. А. Л. Асеев ; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
260
##
$a: Новосибирск
$b: Изд-во Сиб. отд-ния Рос. акад. наук
$c: 2004
$a: Новосибирск
$b: Изд-во Сиб. отд-ния Рос. акад. наук
$c: 2004
300
##
$a: 367 с.
$b: ил.
$c: 25 см
$a: 367 с.
$b: ил.
$c: 25 см
336
##
$a: текст (text)
$b: txt
$2: rdacontent
$a: текст (text)
$b: txt
$2: rdacontent
337
##
$a: неопосредованный (unmediated)
$b: n
$2: rdamedia
$a: неопосредованный (unmediated)
$b: n
$2: rdamedia
338
##
$a: том (volume)
$b: nc
$2: rdacarrier
$a: том (volume)
$b: nc
$2: rdacarrier
500
##
$a: Авт. указаны в содерж.
$a: Авт. указаны в содерж.
504
##
$a: Библиогр. в конце параграфов
$a: Библиогр. в конце параграфов
520
##
$a: В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектронике.
$a: В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектронике.
650
#1
$a: Полупроводниковые приборы
$2: nlr-sh
$x: Производство
$a: Полупроводниковые приборы
$2: nlr-sh
$x: Производство
650
#1
$a: Нанотехнология
$2: nlr-sh
$a: Нанотехнология
$2: nlr-sh
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Пособие для специалистов
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Пособие для специалистов
$2: rubbk
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Получение -- Пособие для специалистов
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Получение -- Пособие для специалистов
$2: rubbk
653
##
$a: эпитаксия молекулярно-лучевая
$a: наноструктурирование
$a: наноструктуры - диагностика
$a: эпитаксия молекулярно-лучевая
$a: наноструктурирование
$a: наноструктуры - диагностика
700
1#
$a: Михайлов, Н. Н.
$a: Михайлов, Н. Н.
700
1#
$a: Асеев, Александр Леонидович
$e: ред.
$a: Асеев, Александр Леонидович
$e: ред.
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 04-26/250
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 04-26/250
$x: 90
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 04-26/249
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 04-26/249
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01002000000/rsl01002508000/rsl01002508473/rsl01002508473.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01002000000/rsl01002508000/rsl01002508473/rsl01002508473.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: dllocal
$a: dllocal