Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала
диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11
диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11
Томск, 2005
Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала
диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11
Томск, 2005
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Чистоедова, Инна Анатольевна. Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11. — Томск, 2005. — 178 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_002746992
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : диссертация . кандидата технических наук : 05.17.11
Место издания
Томск
Год издания
2005
Объем
178 с.
ББК
Л428.06,0, З844.13,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
технология получения тонких пленок, свойства тонких пленок
Библиотека
LDR
02238nam a2200349 i 4500
001
002746992
003
RuMoRGB
005
20050624120000.0
008
050421s2005 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д15132-05
$b: RuMoRGB
$a: д15132-05
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0646695
$a: (RuMoRGB)DIS-0646695
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.17.11
$2: nsnr
$a: 05.17.11
$2: nsnr
084
##
$a: Л428.06,0
$2: rubbk
$a: Л428.06,0
$2: rubbk
084
##
$a: З844.13,0
$2: rubbk
$a: З844.13,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Чистоедова, Инна Анатольевна
$a: Чистоедова, Инна Анатольевна
245
##
$a: Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11
$a: Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.11
260
##
$a: Томск
$c: 2005
$a: Томск
$c: 2005
300
##
$a: 178 с.
$b: ил.
$a: 178 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с.166-178
$a: Библиогр.: с.166-178
650
#1
$a: Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Силикатные производства -- Керамические изделия -- Специальная керамика. Изделия из специальных керамических масс -- Отделка керамических изделий
$2: rubbk
$a: Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Силикатные производства -- Керамические изделия -- Специальная керамика. Изделия из специальных керамических масс -- Отделка керамических изделий
$2: rubbk
650
#1
$a: Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы
$2: rubbk
$a: Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы
$2: rubbk
650
#1
$a: Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов
$2: nsnr
$a: Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов
$2: nsnr
653
##
$a: технология получения тонких пленок
$a: свойства тонких пленок
$a: технология получения тонких пленок
$a: свойства тонких пленок
787
11
$w: 002930118
$i: Автореферат
$w: 002930118
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: MZH
$j: 61 05-5/2319
$x: 82
$a: РГБ
$b: OD
$c: MZH
$j: 61 05-5/2319
$x: 82
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01002000000/rsl01002746000/rsl01002746992/rsl01002746992.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01002000000/rsl01002746000/rsl01002746992/rsl01002746992.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 002930118
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 002930118
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : диссертация . кандидата технических наук : 05.17.11 » , автор — Чистоедова И.А.. Документ был опубликован в 2005 году. Место издания — Томск. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : диссертация . кандидата технических наук : 05.17.11 » в удобной системе просмотра документов.