Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14
Москва, 2007
Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14
Москва, 2007
Библиографическое описание
Скопировать
Наумов, Александр Сергеевич. Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Наумов Александр Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики]. — Москва, 2007. — 19 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_003057614
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.14
Место издания
Москва
Год издания
2007
Объем
19 с.
Ответственность
Наумов Александр Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики]
ББК
З86-531.8-060.2-5,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
лазерная резка полупроводниковых пластин
Библиотека
LDR
01964nam a2200313 i 4500
001
003057614
003
RuMoRGB
005
20080422113508.0
008
070517s2007 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 07-9564А
$b: RuMoRKP
$a: 07-9564А
$b: RuMoRKP
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0766035
$a: (RuMoRGB)DIS-0766035
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.11.14
$2: nsnr
$a: 05.11.14
$2: nsnr
084
##
$a: З86-531.8-060.2-5,0
$2: rubbk
$a: З86-531.8-060.2-5,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Наумов, Александр Сергеевич
$a: Наумов, Александр Сергеевич
245
##
$a: Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14
$c: Наумов Александр Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики]
$a: Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14
$c: Наумов Александр Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики]
260
##
$a: Москва
$c: 2007
$a: Москва
$c: 2007
300
##
$a: 19 с.
$a: 19 с.
650
#1
$a: Технология приборостроения
$2: nsnr
$a: Технология приборостроения
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Лазеры -- Полупроводниковые лазеры -- Технология изготовления неметаллических деталей -- Оборудование
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Лазеры -- Полупроводниковые лазеры -- Технология изготовления неметаллических деталей -- Оборудование
$2: rubbk
653
##
$a: лазерная резка полупроводниковых пластин
$a: лазерная резка полупроводниковых пластин
720
1#
$a: Московский государственный университет приборостроения и информатики
$a: Московский государственный университет приборостроения и информатики
787
11
$w: 003321852
$i: Диссертация
$w: 003321852
$i: Диссертация
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 07-3/1115
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 07-3/1115
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003057000/rsl01003057614/rsl01003057614.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003057000/rsl01003057614/rsl01003057614.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.14 » , автор — Наумов А.С.. Документ был опубликован в 2007 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.14 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.