Кремний - материал наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 210600 "Нанотехнология" и 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Кремний - материал наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 210600 "Нанотехнология" и 210100 "Электроника и микроэлектроника"
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Герасименко, Николай Николаевич. Кремний - материал наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 210600 "Нанотехнология" и 210100 "Электроника и микроэлектроника" / Н. Герасименко, Ю. Пархоменко. — Москва : Техносфера, 2007. — 351 с., [2] л. цв. ил. : ил., табл. : 22 см — (Мир материалов и технологий).; ISBN 5-94836-101-2, 978-5-94836-101-7.
Кремний - материал наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 210600 "Нанотехнология" и 210100 "Электроника и микроэлектроника"
## $a: Кремний - материал наноэлектроники : $b: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 210600 "Нанотехнология" и 210100 "Электроника и микроэлектроника" $c: Н. Герасименко, Ю. Пархоменко
260
## $a: Москва $b: Техносфера $c: 2007
300
## $a: 351 с., [2] л. цв. ил. $b: ил., табл. $c: 22 см
490
## $a: Мир материалов и технологий $v: VI, 12
504
## $a: Библиогр. в конце гл.
650
#1 $a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Материалы -- Неметаллические материалы -- Материалы на основе силикатов $2: rubbk