Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Владикавказ, 2006
Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Владикавказ, 2006
Библиографическое описание
Скопировать
Мустафаев, Абдулла Гасанович. Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Сев.-Кавказ. гор.-металлург. ин-т. — Владикавказ, 2006. — 17 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_003291948
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.01
Место издания
Владикавказ
Год издания
2006
Объем
17 с.
Ответственность
Сев.-Кавказ. гор.-металлург. ин-т
ББК
З844.152-060.2-64,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
дефектность структур кремний на изоляторе
Библиотека
LDR
02275nam a2200325 i 4500
001
003291948
003
RuMoRGB
005
20071011120000.0
008
070215s2006 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 06-25229А
$b: RuMoRKP
$a: 06-25229А
$b: RuMoRKP
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0745143
$a: (RuMoRGB)DIS-0745143
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З844.152-060.2-64,0
$2: rubbk
$a: З844.152-060.2-64,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Мустафаев, Абдулла Гасанович
$a: Мустафаев, Абдулла Гасанович
245
##
$a: Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Сев.-Кавказ. гор.-металлург. ин-т
$a: Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Сев.-Кавказ. гор.-металлург. ин-т
260
##
$a: Владикавказ
$c: 2006
$a: Владикавказ
$c: 2006
300
##
$a: 17 с.
$a: 17 с.
650
#1
$a: Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Технология производства неметаллических деталей -- Проектирование технологического процесса
$2: rubbk
$a: Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Технология производства неметаллических деталей -- Проектирование технологического процесса
$2: rubbk
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
653
##
$a: дефектность структур кремний на изоляторе
$a: дефектность структур кремний на изоляторе
720
1#
$a: Северо-Кавказский горно-металлургический институт
$a: Северо-Кавказский горно-металлургический институт
787
11
$w: 003303158
$i: Диссертация
$w: 003303158
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 06-12/2674-0
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 06-12/2674-0
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 06-12/2675-9
$x: 82
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 06-12/2675-9
$x: 82
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003291000/rsl01003291948/rsl01003291948.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003291000/rsl01003291948/rsl01003291948.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.01 » , автор — Мустафаев А.Г.. Документ был опубликован в 2006 году. Место издания — Владикавказ. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.01 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.