Физико-химические процессы при модификации полимеров высокочастотным звуком и электронами высокой дозы
диссертация ... кандидата технических наук : 02.00.04
диссертация ... кандидата технических наук : 02.00.04
Нижний Новгород, 2006
Физико-химические процессы при модификации полимеров высокочастотным звуком и электронами высокой дозы
диссертация ... кандидата технических наук : 02.00.04
Нижний Новгород, 2006
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Федоров, Алексей Евгеньевич. Физико-химические процессы при модификации полимеров высокочастотным звуком и электронами высокой дозы : диссертация ... кандидата технических наук : 02.00.04. — Нижний Новгород, 2006. — 125 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_003321987
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Физико-химические процессы при модификации полимеров высокочастотным звуком и электронами высокой дозы : диссертация . кандидата технических наук : 02.00.04
Место издания
Нижний Новгород
Год издания
2006
Объем
125 с.
ББК
Л719.960-1:З,0, З844.1-060.6-1,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
полимерные пленки, фоторезисты, полимерные покрытия, литография в производстве микросхем
Библиотека
LDR
02666nam a2200361 i 4500
001
003321987
003
RuMoRGB
005
20071025120000.0
008
070205s2006 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д23395-07
$b: RuMoRGB
$a: д23395-07
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0788706
$a: (RuMoRGB)DIS-0788706
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 02.00.04
$2: nsnr
$a: 02.00.04
$2: nsnr
084
##
$a: Л719.960-1:З,0
$2: rubbk
$a: Л719.960-1:З,0
$2: rubbk
084
##
$a: З844.1-060.6-1,0
$2: rubbk
$a: З844.1-060.6-1,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Федоров, Алексей Евгеньевич
$a: Федоров, Алексей Евгеньевич
245
##
$a: Физико-химические процессы при модификации полимеров высокочастотным звуком и электронами высокой дозы :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 02.00.04
$a: Физико-химические процессы при модификации полимеров высокочастотным звуком и электронами высокой дозы :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 02.00.04
260
##
$a: Нижний Новгород
$c: 2006
$a: Нижний Новгород
$c: 2006
300
##
$a: 125 с.
$b: ил.
$a: 125 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с.119-125
$a: Библиогр.: с.119-125
650
#1
$a: Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения -- Полимеры и пластмассы отраслевого назначения -- Полимеры и пластмассы для электроники и электротехники -- Отдельные процессы производства -- Теоретические основы. Исследования
$2: rubbk
$a: Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения -- Полимеры и пластмассы отраслевого назначения -- Полимеры и пластмассы для электроники и электротехники -- Отдельные процессы производства -- Теоретические основы. Исследования
$2: rubbk
650
#1
$a: Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Технология печатных схем -- Исследование
$2: rubbk
$a: Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Технология печатных схем -- Исследование
$2: rubbk
650
#1
$a: Физическая химия
$2: nsnr
$a: Физическая химия
$2: nsnr
653
##
$a: полимерные пленки
$a: фоторезисты
$a: полимерные покрытия
$a: полимерные пленки
$a: фоторезисты
$a: полимерные покрытия
653
##
$a: литография в производстве микросхем
$a: литография в производстве микросхем
787
11
$w: 003290356
$i: Автореферат
$w: 003290356
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: MZH
$j: 61 07-5/3864
$x: 82
$a: РГБ
$b: OD
$c: MZH
$j: 61 07-5/3864
$x: 82
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003321000/rsl01003321987/rsl01003321987.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003321000/rsl01003321987/rsl01003321987.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003290356
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003290356
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Физико-химические процессы при модификации полимеров высокочастотным звуком и электронами высокой дозы : диссертация . кандидата технических наук : 02.00.04 » , автор — Федоров А.Е.. Документ был опубликован в 2006 году. Место издания — Нижний Новгород. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Физико-химические процессы при модификации полимеров высокочастотным звуком и электронами высокой дозы : диссертация . кандидата технических наук : 02.00.04 » в удобной системе просмотра документов.