Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.07 (2008) — Новиков А.А. — читать диссертацию (автореферат) онлайн, скачать бесплатно PDF

Библиографическое описание

Скопировать

Новиков, Александр Александрович. Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]. — Санкт-Петербург, 2008. — 27 с..

Детальная информация

Код документа в НЭБ

000199_000009_003451586

Каталог

Авторефераты диссертаций

Автор(ы)

Новиков А.А.

Заглавие

Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.07

Место издания

Санкт-Петербург

Год издания

2008

Объем

27 с.

Ответственность

Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]

ББК

З86-5-060.7-7с344,0

Язык

Русский

Еще

Ключевые слова

эллипсометрия поверхностных слоев

Библиотека

Российская государственная библиотека (РГБ)

Еще

MARC-запись (MARC21)

LDR

02218nam a2200325 i 4500

001

003451586

003

RuMoRGB

005

20091002162417.0

008

081127s2008 ru |||| a |00 u rus d

017

##
$a: 08-13147А
$b: RuMoRKP

017

##
$a: 08-14638А
$b: RuMoRKP

040

##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB

041

##
$a: rus

072

#1
$a: 05.11.07
$2: nsnr

084

##
$a: З86-5-060.7-7с344,0
$2: rubbk

100

1#
$a: Новиков, Александр Александрович

245

##
$a: Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
$c: Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]

260

##
$a: Санкт-Петербург
$c: 2008

300

##
$a: 27 с.

650

#1
$a: Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы
$2: nsnr

650

#1
$a: Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Технология изготовления -- Нанесение покрытий -- Технический контроль -- Спектральные методы контроля
$2: rubbk

653

##
$a: эллипсометрия поверхностных слоев

720

1#
$a: Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики

787

11
$w: 004177826
$i: Диссертация

852

##
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 08-4/454
$x: 90

852

##
$a: РГБ
$b: FBKHM
$c: HMK
$j: 9 08-4/1934
$x: 93

856

11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003451000/rsl01003451586/rsl01003451586.pdf
$y: Читать

Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.07 » , автор — Новиков А.А.. Документ был опубликован в 2008 году. Место издания — Санкт-Петербург. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.07 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.

Библиографическое описание

Детальная информация

Тематика

Другие книги автора

Другие документы из источника "Российская государственная библиотека (РГБ)" — Авторефераты диссертаций

MARC-запись (MARC21)