Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
Санкт-Петербург
Место издания
2008
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_003451586
Каталог
Автор
Новиков А.А.
Заглавие
Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
Место издания
Санкт-Петербург
Год издания
2008
Объем
27 с.
Ответственность
Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]
ББК
З86-5-060.7-7с344,0
Ключевые слова
эллипсометрия поверхностных слоев
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : : автореферат дис. .. кандидата технических наук : 05.11.07» ББК:З86-5-060.7-7с344,0, автора Новиков А.А. Документ был издан в 2008 году. Содержит 27 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: 08-13147А
$b: RuMoRKP
$a: 08-13147А
$b: RuMoRKP
017
##
$a: 08-14638А
$b: RuMoRKP
$a: 08-14638А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.11.07
$2: nsnr
$a: 05.11.07
$2: nsnr
084
##
$a: З86-5-060.7-7с344,0
$2: rubbk
$a: З86-5-060.7-7с344,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Новиков, Александр Александрович
$a: Новиков, Александр Александрович
245
##
$a: Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
$c: Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]
$a: Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
$c: Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]
260
##
$a: Санкт-Петербург
$c: 2008
$a: Санкт-Петербург
$c: 2008
300
##
$a: 27 с.
$a: 27 с.
650
#1
$a: Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы
$2: nsnr
$a: Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Технология изготовления -- Нанесение покрытий -- Технический контроль -- Спектральные методы контроля
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Технология изготовления -- Нанесение покрытий -- Технический контроль -- Спектральные методы контроля
$2: rubbk
653
##
$a: эллипсометрия поверхностных слоев
$a: эллипсометрия поверхностных слоев
720
1#
$a: Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики
$a: Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики
787
11
$w: 004177826
$i: Диссертация
$w: 004177826
$i: Диссертация
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 08-4/454
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 08-4/454
$x: 90
852
##
$a: РГБ
$b: FBKHM
$c: HMK
$j: 9 08-4/1934
$x: 93
$a: РГБ
$b: FBKHM
$c: HMK
$j: 9 08-4/1934
$x: 93
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003451000/rsl01003451586/rsl01003451586.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003451000/rsl01003451586/rsl01003451586.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dlopen
$a: dlopen