Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Ставрополь, 2009
Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Ставрополь, 2009
Библиографическое описание
Скопировать
Воронов, Павел Евгеньевич. Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Воронов Павел Евгеньевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]. — Ставрополь, 2009. — 21 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_003471628
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Ставрополь
Год издания
2009
Объем
21 с.
Ответственность
Воронов Павел Евгеньевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]
ББК
Л282,0, К964.501.7,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
газовые сенсоры, оксидные материалы, сенсорные материалы, газочувствительные оксидные пленки, тонкопленочные наноструктуры
Библиотека
LDR
02671nam a2200373 i 4500
001
003471628
003
RuMoRGB
005
20100209110940.0
008
090717s2009 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 09-13593А
$b: RuMoRKP
$a: 09-13593А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: Л282,0
$2: rubbk
$a: Л282,0
$2: rubbk
084
##
$a: К964.501.7,0
$2: rubbk
$a: К964.501.7,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Воронов, Павел Евгеньевич
$a: Воронов, Павел Евгеньевич
245
##
$a: Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Воронов Павел Евгеньевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]
$a: Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Воронов Павел Евгеньевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]
260
##
$a: Ставрополь
$c: 2009
$a: Ставрополь
$c: 2009
300
##
$a: 21 с.
$a: 21 с.
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Окислы, кислоты, основания, соли -- Окислы
$2: rubbk
$a: Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Окислы, кислоты, основания, соли -- Окислы
$2: rubbk
650
#1
$a: Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для определения компонентов газовых смесей -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
$a: Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для определения компонентов газовых смесей -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
653
##
$a: газовые сенсоры
$a: газовые сенсоры
653
##
$a: оксидные материалы
$a: оксидные материалы
653
##
$a: сенсорные материалы
$a: сенсорные материалы
653
##
$a: газочувствительные оксидные пленки
$a: газочувствительные оксидные пленки
653
##
$a: тонкопленочные наноструктуры
$a: тонкопленочные наноструктуры
720
1#
$a: Северо-Кавказский государственный технический университет
$a: Северо-Кавказский государственный технический университет
787
11
$w: 004357382
$i: Диссертация
$w: 004357382
$i: Диссертация
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 09-4/893
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 09-4/893
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003471000/rsl01003471628/rsl01003471628.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003471000/rsl01003471628/rsl01003471628.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Воронов П.Е.. Документ был опубликован в 2009 году. Место издания — Ставрополь. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Оптические и электрофизические свойства тонких наноструктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.