Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

О произведении

Ответственность:

Межгосударственный совет по стандартизации, метрологии и сертификации

Место издания:

Москва

Издательство:

Стандартинформ

Год издания:

2010

Количество страниц:

III, 11 с.

ББК:

17.040.01

УДК:

531.711.7.089:006.354

Источник:

Российская государственная библиотека (РГБ)

Язык:

Русский