020
##
$a: 978-5-9221-1321-2
040
##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB
084
##
$a: В317.1я73-1
$2: rubbk
084
##
$a: З844-06-1с.я73-1
$2: rubbk
100
1#
$a: Барыбин, Анатолий Андреевич
245
##
$a: Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники
$h: [Текст] :
$b: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и наноэлектроника", 211000 "Конструирование и технология электронных средств", 222900 "Нанотехнологии и микросистемная техника"
$c: А. А. Барыбин, В. И. Томилин, В. И. Шаповалов ; под общ. ред. А. А. Барыбина
260
##
$a: Москва
$b: Физматлит
$c: 2011
300
##
$a: 782, [1] с.
$b: ил., портр., табл.
$c: 22 см
504
##
$a: Библиогр.: с. 771-772
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Теоретическая физика -- Термодинамика и статистическая физика -- Термодинамика -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
650
#1
$a: Электроника
$2: nlr_sh
RU\NLR\AUTH\661186842
$x: Физические основы
$v: Учебные издания для высших учебных заведений
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Теория. Исследование -- Методы исследований -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
653
##
$a: термодинамика электронных технологий
653
##
$a: фазовые превращения веществ
653
##
$a: химические превращения веществ
653
##
$a: управление диффузионными и кинетическими процессами
700
1#
$a: Томилин, Виктор Иванович
700
1#
$a: Шаповалов, Виктор Иванович
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 11-77/164
$x: 90
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 11-77/165
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01005000000/rsl01005041000/rsl01005041478/rsl01005041478.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlright factum
$b: dloek
$e: Договор с правообладателем б/н от 28.12.2021
$h: pdf_unchecked