Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Новочеркасск, 2017
Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Новочеркасск, 2017
Библиографическое описание
Скопировать
Девицкий, Олег Васильевич. Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Девицкий Олег Васильевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]. — Новочеркасск, 2017. — 24 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_006655986
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Новочеркасск
Год издания
2017
Объем
24 с.
Ответственность
Девицкий Олег Васильевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]
ББК
З844.13-060.7,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01870nam a2200277 i 4500
001
006655986
003
RuMoRGB
005
20170804153751.0
008
170515s2017 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 17-4918А
$b: RuMoRKP
$a: 17-4918А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Девицкий, Олег Васильевич
$a: Девицкий, Олег Васильевич
245
##
$a: Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Девицкий Олег Васильевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]
$a: Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Девицкий Олег Васильевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]
260
##
$a: Новочеркасск
$c: 2017
$a: Новочеркасск
$c: 2017
300
##
$a: 24 с.
$a: 24 с.
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
787
11
$w: 008954896
$i: Диссертация
$w: 008954896
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 17-5/912
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 17-5/912
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01006000000/rsl01006655000/rsl01006655986/rsl01006655986.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01006000000/rsl01006655000/rsl01006655986/rsl01006655986.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Девицкий О.В.. Документ был опубликован в 2017 году. Место издания — Новочеркасск. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Получение тонких пленок GaP, AlGaAs и AlGaAsP на подложках Si методом импульсного лазерного напыления и исследование их свойств : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.