Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Таганрог, 2017
Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Таганрог, 2017
Библиографическое описание
Скопировать
Буй Тхань Хай. Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Буй Тхань Хай; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]. — Таганрог, 2017. — 20 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_006663151
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.01
Место издания
Таганрог
Год издания
2017
Объем
20 с.
Ответственность
Буй Тхань Хай; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]
ББК
З323-524.03-06,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01976nam a2200289 i 4500
001
006663151
003
RuMoRGB
005
20170614113128.0
008
170220s2017 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 17-1185А
$b: RuMoRKP
$a: 17-1185А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З323-524.03-06,0
$2: rubbk
$a: З323-524.03-06,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Буй Тхань Хай
$a: Буй Тхань Хай
245
##
$a: Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Буй Тхань Хай; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]
$a: Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Буй Тхань Хай; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]
260
##
$a: Таганрог
$c: 2017
$a: Таганрог
$c: 2017
300
##
$a: 20 с.
$a: 20 с.
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
650
#1
$a: Энергетика -- Теплоэнергетика -- Теплотехнические измерения -- Измерение давления и разрежения -- Приборы для измерения давления и разрежения -- Датчики давления -- Технология производства
$2: rubbk
$a: Энергетика -- Теплоэнергетика -- Теплотехнические измерения -- Измерение давления и разрежения -- Приборы для измерения давления и разрежения -- Датчики давления -- Технология производства
$2: rubbk
720
1#
$a: Южный федеральный университет
$a: Южный федеральный университет
787
11
$w: 008860207
$i: Диссертация
$w: 008860207
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 17-5/232
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 17-5/232
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01006000000/rsl01006663000/rsl01006663151/rsl01006663151.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01006000000/rsl01006663000/rsl01006663151/rsl01006663151.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.01 » , автор — Буй Т.Х.. Документ был опубликован в 2017 году. Место издания — Таганрог. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.01 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.