Тонкопленочные неорганические наносистемы
Тонкопленочные неорганические наносистемы
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_006722153
Каталог
Коллекции
Автор
Борило, Людмила Павловна
Заглавие
Тонкопленочные неорганические наносистемы
Место издания
Томск
Издательство
Томский гос. ун-т
Год издания
2012
Объем
133 с.
Ответственность
Л. П. Борило ; М-во образования и науки Российской Федерации, Томский гос. ун-т
ISBN
978-5-94621-362-2
ББК
З844.19-060.7-1,0, З844.13-060.7-1,0, Г582,0
Библиотека
017
##
$a: 13-105316
$b: RuMoRKP
$a: 13-105316
$b: RuMoRKP
020
##
$a: 978-5-94621-362-2
$a: 978-5-94621-362-2
040
##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
080
##
$a: 620.22-022.53
$a: 620.22-022.53
084
##
$a: З844.19-060.7-1,0
$2: rubbk
$a: З844.19-060.7-1,0
$2: rubbk
084
##
$a: З844.13-060.7-1,0
$2: rubbk
$a: З844.13-060.7-1,0
$2: rubbk
084
##
$a: Г582,0
$2: rubbk
$a: Г582,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Борило, Людмила Павловна
$a: Борило, Людмила Павловна
245
##
$a: Тонкопленочные неорганические наносистемы
$h: [Текст]
$c: Л. П. Борило ; М-во образования и науки Российской Федерации, Томский гос. ун-т
$a: Тонкопленочные неорганические наносистемы
$h: [Текст]
$c: Л. П. Борило ; М-во образования и науки Российской Федерации, Томский гос. ун-т
260
##
$a: Томск
$b: Томский гос. ун-т
$c: 2012
$a: Томск
$b: Томский гос. ун-т
$c: 2012
300
##
$a: 133 с.
$b: ил., табл.
$c: 21 см
$a: 133 с.
$b: ил., табл.
$c: 21 см
336
##
$a: текст (text)
$b: txt
$2: rdacontent
$a: текст (text)
$b: txt
$2: rdacontent
337
##
$a: неопосредованный (unmediated)
$b: n
$2: rdamedia
$a: неопосредованный (unmediated)
$b: n
$2: rdamedia
338
##
$a: том (volume)
$b: nc
$2: rdacarrier
$a: том (volume)
$b: nc
$2: rdacarrier
504
##
$a: Библиогр.: с. 123-131
$a: Библиогр.: с. 123-131
650
#1
$a: Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория, исследования
$2: rubbk
$a: Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория, исследования
$2: rubbk
650
#1
$a: Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория, исследования
$2: rubbk
$a: Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория, исследования
$2: rubbk
650
#1
$a: Тонкие пленки неорганические
RU\NLR\AUTH\661465069
$2: nlr_sh
$a: Тонкие пленки неорганические
RU\NLR\AUTH\661465069
$2: nlr_sh
650
#1
$a: Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика-- Физическая химия поверхностных явлений -- Поверхностные слои и их свойства -- Тонкие плёнки
$2: rubbk
$a: Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика-- Физическая химия поверхностных явлений -- Поверхностные слои и их свойства -- Тонкие плёнки
$2: rubbk
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 13-58/119
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 13-58/119
$x: 90
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 13-58/120
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 13-58/120
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01006000000/rsl01006722000/rsl01006722153/rsl01006722153.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01006000000/rsl01006722000/rsl01006722153/rsl01006722153.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlright limit
$b: dllic
$e: Договор с правообладателем
$a: dlright limit
$b: dllic
$e: Договор с правообладателем