Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи (1970) — диссертация (автореферат) Козлов С. В.

Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи

Ленинград

Место издания

б. и.

Издательство

1970

Год издания

Описание документа

Код документа в НЭБ

000199_000009_007403125

Каталог

Диссертации и авторефераты

Автор

Козлов С. В.

Заглавие

Место издания

Ленинград

Издательство

б. и.

Год издания

1970

Ответственность

Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича

Язык

Русский

Еще

Ключевые слова

Козлов

Библиотека

Российская государственная библиотека (РГБ)

Еще

MARC-запись (MARC21)

017

##
$a: 70-25037а

035

##
$a: (RuMoELAR)1969-75-20605890

040

##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: ELAR
$e: rcr

041

##
$a: rus

044

##
$a: ru

084

##
$a: з88-5-040.6
$2: rubbk

100

1#
$a: Козлов, С. В.

245

##
$a: Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи
$h: [Текст] :
$b: Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. (05.301)
$c: Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича

260

##
$a: Ленинград
$b: [б. и.]
$c: 1970

300

##
$a: 20 с.

787

11
$w: 010032551
$i: Диссертация

852

1#
$a: РГБ
$b: FB
$j: Др 216/1632
$x: 90

852

1#
$a: РГБ
$b: FBKHM
$j: Др 216/1633
$x: 80

979

##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb