Когерентно-оптические исследования качества поверхности полупроводниковых пластин
Когерентно-оптические исследования качества поверхности полупроводниковых пластин
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_007777171
Каталог
Автор
Ермакова Наталия Викторовна
Заглавие
Когерентно-оптические исследования качества поверхности полупроводниковых пластин
Место издания
Ленинград
Издательство
б. и.
Год издания
1978
Библиотека
017
##
$a: 78-18389А
$a: 78-18389А
035
##
$a: (RuMoELAR)1977-79-2519671
$a: (RuMoELAR)1977-79-2519671
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: ELAR
$e: rcr
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: ELAR
$e: rcr
041
##
$a: rus
$a: rus
044
##
$a: ru
$a: ru
084
##
$a: В379.225с1,03
$2: rubbk
$a: В379.225с1,03
$2: rubbk
084
##
$a: В343.41интерферометры,03
$2: rubbk
$a: В343.41интерферометры,03
$2: rubbk
100
1#
$a: Ермакова, Наталия Викторовна
$a: Ермакова, Наталия Викторовна
245
##
$a: Когерентно-оптические исследования качества поверхности полупроводниковых пластин
$h: [Текст] :
$b: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : (01.04.04)
$a: Когерентно-оптические исследования качества поверхности полупроводниковых пластин
$h: [Текст] :
$b: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : (01.04.04)
260
##
$a: Ленинград
$b: [б. и.]
$c: 1978
$a: Ленинград
$b: [б. и.]
$c: 1978
300
##
$a: 16 с.
$a: 16 с.
504
##
$a: Список работ авт.: с. 16 (10 назв.)
$a: Список работ авт.: с. 16 (10 назв.)
550
##
$a: В надзаг.: Ленингр. политехн. ин-т им. М.И. Калинина
$a: В надзаг.: Ленингр. политехн. ин-т им. М.И. Калинина
787
11
$w: 009428032
$i: Диссертация
$w: 009428032
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$j: Др 374/2041
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: Др 374/2041
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FBKHM
$j: Др 374/2042
$x: 80
$a: РГБ
$b: FBKHM
$j: Др 374/2042
$x: 80
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb