Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 200103 - "Авиационные приборы и измерительно-вычислительные комплексы" и 200106 "Информационно-измерительная техника и технологии"
Нижний Новгород : Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева, 2014
Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 200103 - "Авиационные приборы и измерительно-вычислительные комплексы" и 200106 "Информационно-измерительная техника и технологии"
Нижний Новгород : Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева, 2014
Библиографическое описание
Скопировать
Карасева, Татьяна Викторовна. Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей [Текст] : [учебное пособие] : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 200103 - "Авиационные приборы и измерительно-вычислительные комплексы" и 200106 "Информационно-измерительная техника и технологии" / Т. В. Карасева ; М-во образования и науки Российской Федерации, Федеральное гос. бюджетное образовательное учреждение высш. проф. образования "Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева", Арзамасский политехнический ин-т (фил. НГТУ). — Нижний Новгород : Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева, 2014. — 126 с. : ил., табл. : 21 см.; ISBN 978-5-502-00454-1.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_007830023
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 200103 - "Авиационные приборы и измерительно-вычислительные комплексы" и 200106 "Информационно-измерительная техника и технологии"
Место издания
Нижний Новгород
Год издания
2014
Объем
126 с.
Ответственность
Т. В. Карасева ; М-во образования и науки Российской Федерации, Федеральное гос. бюджетное образовательное учреждение высш. проф. образования "Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева", Арзамасский политехнический ин-т (фил. НГТУ)
ISBN
978-5-502-00454-1
ББК
З323-503-060.7,0, З843.322.408я73-1, К963.13я73-1
Ключевые слова
микропрофилирование кремния, кремниевые мембраны датчиков давления
Библиотека
LDR
03417nam a2200361 i 4500
001
007830023
005
20141229153311.0
008
141127s2014 ru 000 0 rus d
017
##
$a: 14-89128
$b: RuMoRKP
$a: 14-89128
$b: RuMoRKP
020
##
$a: 978-5-502-00454-1
$a: 978-5-502-00454-1
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$e: rcr
$a: RuMoRGB
$b: rus
$e: rcr
041
##
$a: rus
$a: rus
084
##
$a: З323-503-060.7,0
$2: rubbk
$a: З323-503-060.7,0
$2: rubbk
084
##
$a: З843.322.408я73-1
$2: rubbk
$a: З843.322.408я73-1
$2: rubbk
084
##
$a: К963.13я73-1
$2: rubbk
$a: К963.13я73-1
$2: rubbk
100
1#
$a: Карасева, Татьяна Викторовна
$a: Карасева, Татьяна Викторовна
245
##
$a: Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей
$h: [Текст] :
$b: [учебное пособие] : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 200103 - "Авиационные приборы и измерительно-вычислительные комплексы" и 200106 "Информационно-измерительная техника и технологии"
$c: Т. В. Карасева ; М-во образования и науки Российской Федерации, Федеральное гос. бюджетное образовательное учреждение высш. проф. образования "Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева", Арзамасский политехнический ин-т (фил. НГТУ)
$a: Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей
$h: [Текст] :
$b: [учебное пособие] : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 200103 - "Авиационные приборы и измерительно-вычислительные комплексы" и 200106 "Информационно-измерительная техника и технологии"
$c: Т. В. Карасева ; М-во образования и науки Российской Федерации, Федеральное гос. бюджетное образовательное учреждение высш. проф. образования "Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева", Арзамасский политехнический ин-т (фил. НГТУ)
260
##
$a: Нижний Новгород
$b: Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева
$c: 2014
$a: Нижний Новгород
$b: Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева
$c: 2014
300
##
$a: 126 с.
$b: ил., табл.
$c: 21 см
$a: 126 с.
$b: ил., табл.
$c: 21 см
336
##
$a: текст (text)
$b: txt
$2: rdacontent
$a: текст (text)
$b: txt
$2: rdacontent
337
##
$a: неопосредованный (unmediated)
$b: n
$2: rdamedia
$a: неопосредованный (unmediated)
$b: n
$2: rdamedia
338
##
$a: том (volume)
$b: nc
$2: rdacarrier
$a: том (volume)
$b: nc
$2: rdacarrier
504
##
$a: Библиогр.: с. 111-112
$a: Библиогр.: с. 111-112
650
#1
$a: Энергетика -- Теплоэнергетика -- Теплотехнические измерения -- Измерение давления и разрежения -- Приборы для измерения давления и разрежения -- Датчики давления -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
$a: Энергетика -- Теплоэнергетика -- Теплотехнические измерения -- Измерение давления и разрежения -- Приборы для измерения давления и разрежения -- Датчики давления -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
650
#1
$a: Датчики давления
$x: Производство
RU\NLR\AUTH\66355578
$2: nlr_sh1
$a: Датчики давления
$x: Производство
RU\NLR\AUTH\66355578
$2: nlr_sh1
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Полупроводниковые материалы -- Кремний -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Полупроводниковые материалы -- Кремний -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
650
#1
$a: Машиностроение -- Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для измерения ускорений -- Акселерометры -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
$a: Машиностроение -- Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для измерения ускорений -- Акселерометры -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
650
#1
$a: Акселерометры
RU\NLR\AUTH\6617884
$2: nlr_sh
$a: Акселерометры
RU\NLR\AUTH\6617884
$2: nlr_sh
653
##
$a: микропрофилирование кремния
$a: микропрофилирование кремния
653
##
$a: кремниевые мембраны датчиков давления
$a: кремниевые мембраны датчиков давления
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 14-87/401
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 14-87/401
$x: 90
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 14-87/400
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 14-87/400
$x: 90
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 200103 - "Авиационные приборы и измерительно-вычислительные комплексы" и 200106 "Информационно-измерительная техника и технологии" » , автор — Карасева Т.В.. Документ был опубликован в 2014 году. Место издания — Нижний Новгород. Издательство — Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.