Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13
Ташкент, 1989
Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13
Ташкент, 1989
Библиографическое описание
Скопировать
Мухамедханов, Улугбек Тургудович. Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13 / Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни. — Ташкент, 1989. — 195 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_008240429
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.13
Место издания
Ташкент
Год издания
1989
Объем
195 с.
Ответственность
Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни
ББК
З844.15-060.7-7с349,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01271nam a2200253 i 4500
001
008240429
003
RuMoRGB
005
20160311103954.0
008
900404s1989 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д9506-90
$b: RuMoRGB
$a: д9506-90
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.11.13
$2: nsnr
$a: 05.11.13
$2: nsnr
084
##
$a: З844.15-060.7-7с349,0
$2: rubbk
$a: З844.15-060.7-7с349,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Мухамедханов, Улугбек Тургудович
$a: Мухамедханов, Улугбек Тургудович
245
##
$a: Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13
$c: Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни
$a: Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13
$c: Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни
260
##
$a: Ташкент
$c: 1989
$a: Ташкент
$c: 1989
300
##
$a: 195 с.
$b: ил.
$a: 195 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 135-147
$a: Библиогр.: с. 135-147
650
#1
$a: Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
$2: nsnr
$a: Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий
$2: nsnr
787
11
$w: 000038942
$i: Автореферат
$w: 000038942
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 90-5/2043
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 90-5/2043
$x: 39
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000038942
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000038942
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.13 » , автор — Мухамедханов У.Т.. Документ был опубликован в 1989 году. Место издания — Ташкент. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.