Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2019
Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2019
Библиографическое описание
Скопировать
Абдуллаев, Даниил Анатольевич. Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Абдуллаев Даниил Анатольевич; [Место защиты: ФГБОУ ВО МИРЭА - Российский технологический университет]. — Москва, 2019. — 23 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_008586268
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2019
Объем
23 с.
Ответственность
Абдуллаев Даниил Анатольевич; [Место защиты: ФГБОУ ВО МИРЭА - Российский технологический университет]
ББК
З843.412.08,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
пленки сегнетоэлектрические
Библиотека
LDR
02210nam a22003137 4500
001
008586268
003
RuMoRGB
005
20200922145124.0
008
190829s2019 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: АР-П-19-006246
$b: RuMoRKP
$a: АР-П-19-006246
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З843.412.08,0
$2: rubbk
$a: З843.412.08,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Абдуллаев, Даниил Анатольевич
$a: Абдуллаев, Даниил Анатольевич
245
##
$a: Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Абдуллаев Даниил Анатольевич; [Место защиты: ФГБОУ ВО МИРЭА - Российский технологический университет]
$a: Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Абдуллаев Даниил Анатольевич; [Место защиты: ФГБОУ ВО МИРЭА - Российский технологический университет]
260
##
$a: Москва
$c: 2019
$a: Москва
$c: 2019
300
##
$a: 23 с.
$a: 23 с.
541
1#
$c: RBT
$d: 20190828
$e: 2019.10.15.03
$c: RBT
$d: 20190828
$e: 2019.10.15.03
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Электроизолирующие материалы и изделия -- Твердые и твердеющие материалы и изделия -- Сегнетоэлектрики -- Получение
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Электроизолирующие материалы и изделия -- Твердые и твердеющие материалы и изделия -- Сегнетоэлектрики -- Получение
$2: rubbk
653
##
$a: пленки сегнетоэлектрические
$a: пленки сегнетоэлектрические
720
1#
$a: ФГБОУ ВО МИРЭА - Российский технологический университет
$a: ФГБОУ ВО МИРЭА - Российский технологический университет
787
11
$w: 008586269
$i: Диссертация
$w: 008586269
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 19-5/1234
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 19-5/1234
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008586000/rsl01008586268/rsl01008586268.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008586000/rsl01008586268/rsl01008586268.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Абдуллаев Д.А.. Документ был опубликован в 2019 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Вакуумно-плазменное травление тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца и структур на их основе : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.