Разработка сверхвысоковакуумного комплекса для получения и in situ исследования наноструктур методом спектральной магнитооптической эллипсометрии в широком температурном диапазоне
диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01
диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01
Красноярск, 2019
Разработка сверхвысоковакуумного комплекса для получения и in situ исследования наноструктур методом спектральной магнитооптической эллипсометрии в широком температурном диапазоне
диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01
Красноярск, 2019
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Шевцов, Дмитрий Валентинович. Разработка сверхвысоковакуумного комплекса для получения и in situ исследования наноструктур методом спектральной магнитооптической эллипсометрии в широком температурном диапазоне : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01 / Шевцов Дмитрий Валентинович; [Место защиты: Институт аналитического приборостроения Российской академии наук]. — Красноярск, 2019. — 131 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_008587005
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Разработка сверхвысоковакуумного комплекса для получения и in situ исследования наноструктур методом спектральной магнитооптической эллипсометрии в широком температурном диапазоне : диссертация . кандидата технических наук : 01.04.01
Место издания
Красноярск
Год издания
2019
Объем
131 с.
Ответственность
Шевцов Дмитрий Валентинович; [Место защиты: Институт аналитического приборостроения Российской академии наук]
ББК
В343.5,0, В372.6с1,0, З844.19-01с34,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02996nam a22003737 4500
001
008587005
003
RuMoRGB
005
20200928113147.0
008
190829s2019 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д8430-19
$b: RuMoRGB
$a: д8430-19
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.01
$2: nsnr
$a: 01.04.01
$2: nsnr
084
##
$a: В343.5,0
$2: rubbk
$a: В343.5,0
$2: rubbk
084
##
$a: В372.6с1,0
$2: rubbk
$a: В372.6с1,0
$2: rubbk
084
##
$a: З844.19-01с34,0
$2: rubbk
$a: З844.19-01с34,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Шевцов, Дмитрий Валентинович
$a: Шевцов, Дмитрий Валентинович
245
##
$a: Разработка сверхвысоковакуумного комплекса для получения и in situ исследования наноструктур методом спектральной магнитооптической эллипсометрии в широком температурном диапазоне :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01
$c: Шевцов Дмитрий Валентинович; [Место защиты: Институт аналитического приборостроения Российской академии наук]
$a: Разработка сверхвысоковакуумного комплекса для получения и in situ исследования наноструктур методом спектральной магнитооптической эллипсометрии в широком температурном диапазоне :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01
$c: Шевцов Дмитрий Валентинович; [Место защиты: Институт аналитического приборостроения Российской академии наук]
260
##
$a: Красноярск
$c: 2019
$a: Красноярск
$c: 2019
300
##
$a: 131 с.
$b: ил.
$a: 131 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 116-131
$a: Библиогр.: с. 116-131
541
1#
$c: RBT
$d: 20190828
$e: 2019.10.25.04
$c: RBT
$d: 20190828
$e: 2019.10.25.04
650
#1
$a: Приборы и методы экспериментальной физики
$2: nsnr
$a: Приборы и методы экспериментальной физики
$2: nsnr
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Оптика -- Физическая оптика -- Поляризация света. Двойное лучепреломление
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Оптика -- Физическая оптика -- Поляризация света. Двойное лучепреломление
$2: rubbk
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твёрдого тела. Кристаллография -- Структура твёрдых тел -- Тонкие слои твёрдых тел. Наноструктуры -- Методы исследования
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твёрдого тела. Кристаллография -- Структура твёрдых тел -- Тонкие слои твёрдых тел. Наноструктуры -- Методы исследования
$2: rubbk
650
#1
$a: Техника. Технические науки -- Энергетика. Радиоэлектроника -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Исследование -- Методы -- Физические методы -- Оптические методы
$2: rubbk
$a: Техника. Технические науки -- Энергетика. Радиоэлектроника -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Исследование -- Методы -- Физические методы -- Оптические методы
$2: rubbk
720
1#
$a: ФГБУН Институт аналитического приборостроения Российской академии наук
$a: ФГБУН Институт аналитического приборостроения Российской академии наук
787
11
$w: 008587004
$i: Автореферат
$w: 008587004
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-5/1809
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-5/1809
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008587000/rsl01008587005/rsl01008587005.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008587000/rsl01008587005/rsl01008587005.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008587004
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008587004
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Разработка сверхвысоковакуумного комплекса для получения и in situ исследования наноструктур методом спектральной магнитооптической эллипсометрии в широком температурном диапазоне : диссертация . кандидата технических наук : 01.04.01 » , автор — Шевцов Д.В.. Документ был опубликован в 2019 году. Место издания — Красноярск. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Разработка сверхвысоковакуумного комплекса для получения и in situ исследования наноструктур методом спектральной магнитооптической эллипсометрии в широком температурном диапазоне : диссертация . кандидата технических наук : 01.04.01 » в удобной системе просмотра документов.