Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2019
Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2019
Библиографическое описание
Скопировать
Федотов, Сергей Дмитриевич. Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Федотов Сергей Дмитриевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО Национальный исследовательский университет Московский институт электронной техники]. — Москва, 2019. — 23 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_008590138
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2019
Объем
23 с.
Ответственность
Федотов Сергей Дмитриевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО Национальный исследовательский университет Московский институт электронной техники]
ББК
З843.3-06,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02280nam a22003017 4500
001
008590138
003
RuMoRGB
005
20201027093409.0
008
191121s2019 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: АР-П-19-006785
$b: RuMoRKP
$a: АР-П-19-006785
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З843.3-06,0
$2: rubbk
$a: З843.3-06,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Федотов, Сергей Дмитриевич
$a: Федотов, Сергей Дмитриевич
245
##
$a: Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Федотов Сергей Дмитриевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО Национальный исследовательский университет Московский институт электронной техники]
$a: Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Федотов Сергей Дмитриевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО Национальный исследовательский университет Московский институт электронной техники]
260
##
$a: Москва
$c: 2019
$a: Москва
$c: 2019
300
##
$a: 23 с.
$a: 23 с.
541
1#
$c: RBT
$d: 20191105
$e: 2019.11.28.06
$c: RBT
$d: 20191105
$e: 2019.11.28.06
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Полупроводниковый кремний -- Технология производства
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Полупроводниковый кремний -- Технология производства
$2: rubbk
720
1#
$a: ФГАОУ ВО Национальный исследовательский университет Московский институт электронной техники
$a: ФГАОУ ВО Национальный исследовательский университет Московский институт электронной техники
787
11
$w: 008590139
$i: Диссертация
$w: 008590139
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 19-5/1351
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 19-5/1351
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008590000/rsl01008590138/rsl01008590138.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008590000/rsl01008590138/rsl01008590138.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Федотов С.Д.. Документ был опубликован в 2019 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.