Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.16.08
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.16.08
Саратов, 2017
Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.16.08
Саратов, 2017
Библиографическое описание
Скопировать
Митин, Дмитрий Михайлович. Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.16.08 / Митин Дмитрий Михайлович; [Место защиты: Тамб. гос. техн. ун-т]. — Саратов, 2017. — 16 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_008711258
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.16.08
Место издания
Саратов
Год издания
2017
Объем
16 с.
Ответственность
Митин Дмитрий Михайлович; [Место защиты: Тамб. гос. техн. ун-т]
ББК
З844.13-060.7,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01804nam a2200289 i 4500
001
008711258
003
RuMoRGB
005
20180109145627.0
008
171031s2017 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 17-8619А
$b: RuMoRKP
$a: 17-8619А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.16.08
$2: nsnr
$a: 05.16.08
$2: nsnr
084
##
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Митин, Дмитрий Михайлович
$a: Митин, Дмитрий Михайлович
245
##
$a: Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.16.08
$c: Митин Дмитрий Михайлович; [Место защиты: Тамб. гос. техн. ун-т]
$a: Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.16.08
$c: Митин Дмитрий Михайлович; [Место защиты: Тамб. гос. техн. ун-т]
260
##
$a: Саратов
$c: 2017
$a: Саратов
$c: 2017
300
##
$a: 16 с.
$a: 16 с.
650
#1
$a: Нанотехнологии и наноматериалы
$2: nsnr
$a: Нанотехнологии и наноматериалы
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
720
1#
$a: Тамбовский государственный технический университет
$a: Тамбовский государственный технический университет
787
11
$w: 009520634
$i: Диссертация
$w: 009520634
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 17-5/1700
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 17-5/1700
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008711000/rsl01008711258/rsl01008711258.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008711000/rsl01008711258/rsl01008711258.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.16.08 » , автор — Митин Д.М.. Документ был опубликован в 2017 году. Место издания — Саратов. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.16.08 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.