Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06
Москва, 2018
Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06
Москва, 2018
Библиографическое описание
Скопировать
Алексахин, Артем Владиславович. Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06 / Алексахин Артем Владиславович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]. — Москва, 2018. — 23 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_008716730
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.13.06
Место издания
Москва
Год издания
2018
Объем
23 с.
Ответственность
Алексахин Артем Владиславович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
ББК
К637-5-05,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01872nam a2200301 i 4500
001
008716730
003
RuMoRGB
005
20230825112020.0
008
181031s2018 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: АР-П-18-007718
$b: RuMoRKP
$a: АР-П-18-007718
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.13.06
$2: nsnr
$a: 05.13.06
$2: nsnr
084
##
$a: К637-5-05,0
$2: rubbk
$a: К637-5-05,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Алексахин, Артем Владиславович
$a: Алексахин, Артем Владиславович
245
##
$a: Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06
$c: Алексахин Артем Владиславович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
$a: Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.06
$c: Алексахин Артем Владиславович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
260
##
$a: Москва
$c: 2018
$a: Москва
$c: 2018
300
##
$a: 23 с.
$a: 23 с.
541
1#
$c: RBT
$d: 20190717
$e: 2018.11.29.64
$c: RBT
$d: 20190717
$e: 2018.11.29.64
650
#1
$a: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
$2: nsnr
$a: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
$2: nsnr
650
#1
$a: Машиностроение -- Обработка металлов резанием -- Абразивная обработка металлов -- Оборудование -- Автоматизация
$2: rubbk
$a: Машиностроение -- Обработка металлов резанием -- Абразивная обработка металлов -- Оборудование -- Автоматизация
$2: rubbk
720
1#
$a: Национальный исследовательский университет МИЭТ
$a: Национальный исследовательский университет МИЭТ
787
11
$w: 009844244
$i: Диссертация
$w: 009844244
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 18-5/1744
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 18-5/1744
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008716000/rsl01008716730/rsl01008716730.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01008000000/rsl01008716000/rsl01008716730/rsl01008716730.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.13.06 » , автор — Алексахин А.В.. Документ был опубликован в 2018 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.13.06 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.