Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС) - 2017 : Problems of advanced micro- and nanoelectronic systems development (MES) : сборник избранных трудов на английском языке VII Всероссийской научно-технической конференции МЭС-2016 : в 4 ч.

##
$a: 978-5-94627-114-1

##
$a: 2078-7707

##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$e: rcr

##
$a: rus
$a: eng

##
$a: ru

##
$a: З844.1-02я431(0)
$2: rubbk

##
$a: Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС) - 2017
$h: [Текст] =
$b: Problems of advanced micro- and nanoelectronic systems development (MES) : сборник избранных трудов на английском языке VII Всероссийской научно-технической конференции МЭС-2016 : [в 4 ч.]
$c: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук ; [главный редактор А. Л. Стемпковский]

11
$a: Problems of advanced micro- and nanoelectronic systems development (MES)

##
$a: Москва
$b: ИППМ РАН
$c: 2017

##
$c: 29 см

##
$a: Без тит. л. Описано по обл.

##
$a: Библиогр. в конце ст.

##
$a: Российский индекс научного цитирования (РИНЦ)

##
$a: Текст рус., англ.

#1
$a: Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Проектирование -- Материалы конференции
$2: rubbk

1#
$a: Стемпковский, Александр Леонидович
$e: ред.

1#
$a: Институт проблем проектирования в микроэлектронике (Москва)