Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния
диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.08
диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.08
Саратов, 2017
Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния
диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.08
Саратов, 2017
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Митин, Дмитрий Михайлович. Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.08 / Митин Дмитрий Михайлович; [Место защиты: Тамб. гос. техн. ун-т]. — Саратов, 2017. — 129 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_009520634
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния : диссертация . кандидата технических наук : 05.16.08
Место издания
Саратов
Год издания
2017
Объем
129 с.
Ответственность
Митин Дмитрий Михайлович; [Место защиты: Тамб. гос. техн. ун-т]
ББК
З844.13-060.7,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01907nam a2200313 i 4500
001
009520634
003
RuMoRGB
005
20220920155141.0
008
180122s2017 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д412-18
$b: RuMoRGB
$a: д412-18
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.16.08
$2: nsnr
$a: 05.16.08
$2: nsnr
084
##
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Митин, Дмитрий Михайлович
$a: Митин, Дмитрий Михайлович
245
##
$a: Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.08
$c: Митин Дмитрий Михайлович; [Место защиты: Тамб. гос. техн. ун-т]
$a: Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.16.08
$c: Митин Дмитрий Михайлович; [Место защиты: Тамб. гос. техн. ун-т]
260
##
$a: Саратов
$c: 2017
$a: Саратов
$c: 2017
300
##
$a: 129 с.
$b: ил.
$a: 129 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 119-127
$a: Библиогр.: с. 119-127
650
#1
$a: Нанотехнологии и наноматериалы
$2: nsnr
$a: Нанотехнологии и наноматериалы
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
720
1#
$a: Тамбовский государственный технический университет
$a: Тамбовский государственный технический университет
787
11
$w: 008711258
$i: Автореферат
$w: 008711258
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 18-5/68
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 18-5/68
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01009000000/rsl01009520000/rsl01009520634/rsl01009520634.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01009000000/rsl01009520000/rsl01009520634/rsl01009520634.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008711258
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008711258
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния : диссертация . кандидата технических наук : 05.16.08 » , автор — Митин Д.М.. Документ был опубликован в 2017 году. Место издания — Саратов. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния : диссертация . кандидата технических наук : 05.16.08 » в удобной системе просмотра документов.