Электронная, атомная структура и фазовый состав композитных пленок Al-Si
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Воронеж, 2018
Электронная, атомная структура и фазовый состав композитных пленок Al-Si
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Воронеж, 2018
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Усольцева, Дарья Сергеевна. Электронная, атомная структура и фазовый состав композитных пленок Al-Si : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Усольцева Дарья Сергеевна; [Место защиты: Воронеж. гос. ун-т]. — Воронеж, 2018. — 148 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_009686903
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Электронная, атомная структура и фазовый состав композитных пленок Al-Si : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Место издания
Воронеж
Год издания
2018
Объем
148 с.
Ответственность
Усольцева Дарья Сергеевна; [Место защиты: Воронеж. гос. ун-т]
ББК
В372.6,03, З844.13-060.7,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
магнетронное, ионно-лучевое напыление, импульсный фотонный отжиг, селективное химическое травление
Библиотека
LDR
02377nam a2200385 i 4500
001
009686903
003
RuMoRGB
005
20230310112040.0
008
180713s2018 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д5474-18
$b: RuMoRGB
$a: д5474-18
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.07
$2: nsnr
$a: 01.04.07
$2: nsnr
084
##
$a: В372.6,03
$2: rubbk
$a: В372.6,03
$2: rubbk
084
##
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Усольцева, Дарья Сергеевна
$a: Усольцева, Дарья Сергеевна
245
##
$a: Электронная, атомная структура и фазовый состав композитных пленок Al-Si :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
$c: Усольцева Дарья Сергеевна; [Место защиты: Воронеж. гос. ун-т]
$a: Электронная, атомная структура и фазовый состав композитных пленок Al-Si :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
$c: Усольцева Дарья Сергеевна; [Место защиты: Воронеж. гос. ун-т]
260
##
$a: Воронеж
$c: 2018
$a: Воронеж
$c: 2018
300
##
$a: 148 с.
$b: ил.
$a: 148 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 138-148
$a: Библиогр.: с. 138-148
541
1#
$c: OEK
$d: 20190410
$c: OEK
$d: 20190410
650
#1
$a: Физика конденсированного состояния
$2: nsnr
$a: Физика конденсированного состояния
$2: nsnr
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела -- Структура твердых тел -- Наноструктуры твердых тел -- Методы исследования
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела -- Структура твердых тел -- Наноструктуры твердых тел -- Методы исследования
$2: rubbk
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий
$2: rubbk
653
##
$a: магнетронное, ионно-лучевое напыление
$a: магнетронное, ионно-лучевое напыление
653
##
$a: импульсный фотонный отжиг
$a: импульсный фотонный отжиг
653
##
$a: селективное химическое травление
$a: селективное химическое травление
720
1#
$a: Воронежский государственный университет
$a: Воронежский государственный университет
787
11
$w: 008707473
$i: Автореферат
$w: 008707473
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 18-1/494
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 18-1/494
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01009000000/rsl01009686000/rsl01009686903/rsl01009686903.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01009000000/rsl01009686000/rsl01009686903/rsl01009686903.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008707473
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008707473
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Электронная, атомная структура и фазовый состав композитных пленок Al-Si : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.07 » , автор — Усольцева Д.С.. Документ был опубликован в 2018 году. Место издания — Воронеж. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Электронная, атомная структура и фазовый состав композитных пленок Al-Si : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.07 » в удобной системе просмотра документов.