Технологические аспекты локальной обработки материалов микро- и наноэлектроники сфокусированным пучком ионов Ga+ и Xe+
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Москва, 2019
Технологические аспекты локальной обработки материалов микро- и наноэлектроники сфокусированным пучком ионов Ga+ и Xe+
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Москва, 2019
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Лапин, Дмитрий Геннадьевич. Технологические аспекты локальной обработки материалов микро- и наноэлектроники сфокусированным пучком ионов Ga+ и Xe+ : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Лапин Дмитрий Геннадьевич; [Место защиты: МИРЭА Рос. технол. ун-т]. — Москва, 2019. — 113 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010026701
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Технологические аспекты локальной обработки материалов микро- и наноэлектроники сфокусированным пучком ионов Ga+ и Xe+ : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
2019
Объем
113 с.
Ответственность
Лапин Дмитрий Геннадьевич; [Место защиты: МИРЭА Рос. технол. ун-т]
ББК
З844.1-060.14,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02129nam a2200337 i 4500
001
010026701
003
RuMoRGB
005
20210329121735.0
008
190709s2019 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д5095-19
$b: RuMoRGB
$a: д5095-19
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З844.1-060.14,0
$2: rubbk
$a: З844.1-060.14,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Лапин, Дмитрий Геннадьевич
$a: Лапин, Дмитрий Геннадьевич
245
##
$a: Технологические аспекты локальной обработки материалов микро- и наноэлектроники сфокусированным пучком ионов Ga+ и Xe+ :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Лапин Дмитрий Геннадьевич; [Место защиты: МИРЭА Рос. технол. ун-т]
$a: Технологические аспекты локальной обработки материалов микро- и наноэлектроники сфокусированным пучком ионов Ga+ и Xe+ :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Лапин Дмитрий Геннадьевич; [Место защиты: МИРЭА Рос. технол. ун-т]
260
##
$a: Москва
$c: 2019
$a: Москва
$c: 2019
300
##
$a: 113 с.
$b: ил.
$a: 113 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 100-111
$a: Библиогр.: с. 100-111
541
1#
$c: RBT
$d: 20190517
$e: 2019.06.26.89
$c: RBT
$d: 20190517
$e: 2019.06.26.89
541
1#
$c: OEK
$d: 20190709
$c: OEK
$d: 20190709
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Технология изготовления -- Наноразмерная ионно-лучевая обработка
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Технология изготовления -- Наноразмерная ионно-лучевая обработка
$2: rubbk
720
1#
$a: МИРЭА – Российский технологический университет
$a: МИРЭА – Российский технологический университет
787
11
$w: 010044966
$i: Автореферат
$w: 010044966
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-5/1036
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-5/1036
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010026000/rsl01010026701/rsl01010026701.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010026000/rsl01010026701/rsl01010026701.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 010044966
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 010044966
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Технологические аспекты локальной обработки материалов микро- и наноэлектроники сфокусированным пучком ионов Ga+ и Xe+ : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.01 » , автор — Лапин Д.Г.. Документ был опубликован в 2019 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Технологические аспекты локальной обработки материалов микро- и наноэлектроники сфокусированным пучком ионов Ga+ и Xe+ : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.01 » в удобной системе просмотра документов.