Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Санкт-Петербург, 2019
Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Санкт-Петербург, 2019
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Спешилова, Анастасия Борисовна. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Спешилова Анастасия Борисовна; [Место защиты: С.-Петерб. политехн. ун-т Петра Великого]. — Санкт-Петербург, 2019. — 131 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010034608
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Санкт-Петербург
Год издания
2019
Объем
131 с.
Ответственность
Спешилова Анастасия Борисовна; [Место защиты: С.-Петерб. политехн. ун-т Петра Великого]
ББК
З844.1-060.14,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02298nam a2200337 i 4500
001
010034608
003
RuMoRGB
005
20210303113816.0
008
190717s2019 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д4831-19
$b: RuMoRGB
$a: д4831-19
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З844.1-060.14,0
$2: rubbk
$a: З844.1-060.14,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Спешилова, Анастасия Борисовна
$a: Спешилова, Анастасия Борисовна
245
##
$a: Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Спешилова Анастасия Борисовна; [Место защиты: С.-Петерб. политехн. ун-т Петра Великого]
$a: Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Спешилова Анастасия Борисовна; [Место защиты: С.-Петерб. политехн. ун-т Петра Великого]
260
##
$a: Санкт-Петербург
$c: 2019
$a: Санкт-Петербург
$c: 2019
300
##
$a: 131 с.
$b: ил.
$a: 131 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 121-127
$a: Библиогр.: с. 121-127
541
1#
$c: RBT
$d: 20190327
$e: 2019.05.16.03
$c: RBT
$d: 20190327
$e: 2019.05.16.03
541
1#
$c: OEK
$d: 20200114
$c: OEK
$d: 20200114
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Технология производства -- Электронно-лучевая обработка -- Плазменная обработка
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Технология производства -- Электронно-лучевая обработка -- Плазменная обработка
$2: rubbk
720
1#
$a: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
$a: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
787
11
$w: 008702547
$i: Автореферат
$w: 008702547
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-5/1111
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-5/1111
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010034000/rsl01010034608/rsl01010034608.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010034000/rsl01010034608/rsl01010034608.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008702547
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008702547
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Спешилова А.Б.. Документ был опубликован в 2019 году. Место издания — Санкт-Петербург. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов.