Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем
диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 2019
Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем
диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 2019
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Тимошенков, Алексей Сергеевич. Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01 / Тимошенков Алексей Сергеевич; [Место защиты: Моск. ин-т электронной техники]. — Москва, 2019. — 320 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010035950
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем : диссертация . доктора технических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
2019
Объем
320 с.
Ответственность
Тимошенков Алексей Сергеевич; [Место защиты: Моск. ин-т электронной техники]
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01702nam a2200301 i 4500
001
010035950
003
RuMoRGB
005
20190718163045.0
008
190718s2019 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д-19
$b: RuMoRGB
$a: д-19
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
100
1#
$a: Тимошенков, Алексей Сергеевич
$a: Тимошенков, Алексей Сергеевич
245
##
$a: Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
$c: Тимошенков Алексей Сергеевич; [Место защиты: Моск. ин-т электронной техники]
$a: Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
$c: Тимошенков Алексей Сергеевич; [Место защиты: Моск. ин-т электронной техники]
260
##
$a: Москва
$c: 2019
$a: Москва
$c: 2019
300
##
$a: 320 с.
$b: ил.
$a: 320 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 305-316
$a: Библиогр.: с. 305-316
541
1#
$c: RBT
$d: 20190514
$e: 2019.06.20.120
$c: RBT
$d: 20190514
$e: 2019.06.20.120
541
1#
$c: OEK
$d: 20190718
$c: OEK
$d: 20190718
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
720
1#
$a: Московский институт электронной техники
$a: Московский институт электронной техники
787
11
$w: 008702344
$i: Автореферат
$w: 008702344
$i: Автореферат
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010035000/rsl01010035950/rsl01010035950.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010035000/rsl01010035950/rsl01010035950.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008702344
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008702344
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем : диссертация . доктора технических наук : 05.27.01 » , автор — Тимошенков А.С.. Документ был опубликован в 2019 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Конструктивно-технологические основы создания инерциальных микроэлектромеханических систем : диссертация . доктора технических наук : 05.27.01 » в удобной системе просмотра документов.