Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2019
Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2019
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Бабурин, Александр Сергеевич. Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Бабурин Александр Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. — Москва, 2019. — 131 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010046168
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2019
Объем
131 с.
Ответственность
Бабурин Александр Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
ББК
З844.13-060.7,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02187nam a2200325 i 4500
001
010046168
003
RuMoRGB
005
20220420124347.0
008
190730s2019 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д5757-19
$b: RuMoRGB
$a: д5757-19
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Бабурин, Александр Сергеевич
$a: Бабурин, Александр Сергеевич
245
##
$a: Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Бабурин Александр Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
$a: Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Бабурин Александр Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
260
##
$a: Москва
$c: 2019
$a: Москва
$c: 2019
300
##
$a: 131 с.
$b: ил.
$a: 131 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 120-128
$a: Библиогр.: с. 120-128
541
1#
$c: RBT
$d: 20190517
$e: 2019.06.26.76
$c: RBT
$d: 20190517
$e: 2019.06.26.76
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение пленочных покрытий
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение пленочных покрытий
$2: rubbk
720
1#
$a: Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана
$a: Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана
787
11
$w: 008704468
$i: Автореферат
$w: 008704468
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-5/1336
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-5/1336
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010046000/rsl01010046168/rsl01010046168.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010046000/rsl01010046168/rsl01010046168.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008704468
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 008704468
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Бабурин А.С.. Документ был опубликован в 2019 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов.