Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Киев, 1990
Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Киев, 1990
Библиографическое описание
Скопировать
Дзян, Александр Сергеевич. Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Дзян Александр Сергеевич; [Место защиты: Институт кибернетики имени В. М. Глушкова]. — Киев, 1990. — 16 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010154805
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.01
Место издания
Киев
Год издания
1990
Объем
16 с.
Ответственность
Дзян Александр Сергеевич; [Место защиты: Институт кибернетики имени В. М. Глушкова]
ББК
З844.15-06-1,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01361nam a2200241 a 4500
001
010154805
003
RuMoRGB
005
20191127164137.0
008
191113s1990 ru 000 0 rus d
017
##
$a: 90-2876А
$b: RuMoRKP
$a: 90-2876А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З844.15-06-1,0
$2: rubbk
$a: З844.15-06-1,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Дзян, Александр Сергеевич
$a: Дзян, Александр Сергеевич
245
##
$a: Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Дзян Александр Сергеевич; [Место защиты: Институт кибернетики имени В. М. Глушкова]
$a: Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Дзян Александр Сергеевич; [Место защиты: Институт кибернетики имени В. М. Глушкова]
260
##
$a: Киев
$c: 1990
$a: Киев
$c: 1990
300
##
$a: 16 с.
$b: ил.
$a: 16 с.
$b: ил.
506
##
$a: Для служ. пользования
$a: Для служ. пользования
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника
$2: nsnr
720
1#
$a: Институт кибернетики имени В. М. Глушкова (Киев)
$a: Институт кибернетики имени В. М. Глушкова (Киев)
852
##
$a: РГБ
$b: DSP
$c: D09N
$j: Др 90/472
$x: 92
$a: РГБ
$b: DSP
$c: D09N
$j: Др 90/472
$x: 92
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.01 » , автор — Дзян А.С.. Документ был опубликован в 1990 году. Место издания — Киев. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.