Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 01.04.15
Москва, 2019
Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 01.04.15
Москва, 2019
Библиографическое описание
Богданова, Мария Андреевна. Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.15 / Богданова Мария Андреевна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]. — Москва, 2019. — 22 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010206308
Каталог
Автор
Заглавие
Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 01.04.15
Место издания
Москва
Год издания
2019
Объем
22 с.
Ответственность
Богданова Мария Андреевна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]
ББК
В333с1,03, Г597,0, З844.15-06.14-5,0
Ключевые слова
ионные процессы в плазме, реактор плазмохимического травления
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 01.04.15» ББК:В333с1,03, Г597,0, З844.15-06.14-5,0, автора Богданова М.А. Документ был издан в 2019 году. Содержит 22 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
LDR
02617nam a2200361 i 4500
001
010206308
003
RuMoRGB
005
20200729170409.0
008
191219s2019 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: АР-П-19-008530
$b: RuMoRKP
$a: АР-П-19-008530
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.15
$2: nsnr
$a: 01.04.15
$2: nsnr
084
##
$a: В333с1,03
$2: rubbk
$a: В333с1,03
$2: rubbk
084
##
$a: Г597,0
$2: rubbk
$a: Г597,0
$2: rubbk
084
##
$a: З844.15-06.14-5,0
$2: rubbk
$a: З844.15-06.14-5,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Богданова, Мария Андреевна
$a: Богданова, Мария Андреевна
245
##
$a: Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.15
$c: Богданова Мария Андреевна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]
$a: Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.15
$c: Богданова Мария Андреевна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]
260
##
$a: Москва
$c: 2019
$a: Москва
$c: 2019
300
##
$a: 22 с.
$a: 22 с.
650
#1
$a: Физика и технология наноструктур, атомная и молекул
$2: nsnr
$a: Физика и технология наноструктур, атомная и молекул
$2: nsnr
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Методы исследования
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Методы исследования
$2: rubbk
650
#1
$a: Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика -- Химия термической и нетермической активации -- Плазмохимия
$2: rubbk
$a: Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика -- Химия термической и нетермической активации -- Плазмохимия
$2: rubbk
650
#1
$a: Интегральные схемы -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Травление -- Оборудование
$2: rubbk
$a: Интегральные схемы -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Травление -- Оборудование
$2: rubbk
653
##
$a: ионные процессы в плазме
$a: ионные процессы в плазме
653
##
$a: реактор плазмохимического травления
$a: реактор плазмохимического травления
720
1#
$a: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)
$a: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)
787
11
$w: 010209071
$i: Диссертация
$w: 010209071
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$j: 9 19-1/735
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$j: 9 19-1/735
$x: 81
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010206000/rsl01010206308/rsl01010206308.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010206000/rsl01010206308/rsl01010206308.pdf
$y: Читать