Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.15
Москва, 2019
Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.15
Москва, 2019
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Богданова, Мария Андреевна. Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.15 / Богданова Мария Андреевна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]. — Москва, 2019. — 139 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010209071
Каталог
Автор
Заглавие
Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.15
Место издания
Москва
Год издания
2019
Объем
139 с.
Ответственность
Богданова Мария Андреевна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]
ББК
В333с1,03, Г597,0, З844.15-06.14-5,0
Ключевые слова
ионные процессы в плазме, реактор плазмохимического травления
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам читать онлайн в Электронном Читальном Зале (ЭЧЗ) диссертацию (автореферат) на тему «Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.15» ББК:В333с1,03, Г597,0, З844.15-06.14-5,0, автора Богданова М.А. Документ был издан в 2019 году. Содержит 139 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
LDR
02776nam a2200397 i 4500
001
010209071
003
RuMoRGB
005
20220909114825.0
008
191223s2019 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д9095-19
$b: RuMoRGB
$a: д9095-19
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.15
$2: nsnr
$a: 01.04.15
$2: nsnr
084
##
$a: В333с1,03
$2: rubbk
$a: В333с1,03
$2: rubbk
084
##
$a: Г597,0
$2: rubbk
$a: Г597,0
$2: rubbk
084
##
$a: З844.15-06.14-5,0
$2: rubbk
$a: З844.15-06.14-5,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Богданова, Мария Андреевна
$a: Богданова, Мария Андреевна
245
##
$a: Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.15
$c: Богданова Мария Андреевна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]
$a: Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.15
$c: Богданова Мария Андреевна; [Место защиты: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)]
260
##
$a: Москва
$c: 2019
$a: Москва
$c: 2019
300
##
$a: 139 с.
$b: ил.
$a: 139 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 126-139
$a: Библиогр.: с. 126-139
541
1#
$c: OEK
$d: 20191223
$c: OEK
$d: 20191223
650
#1
$a: Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика
$2: nsnr
$a: Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика
$2: nsnr
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Методы исследования
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Методы исследования
$2: rubbk
650
#1
$a: Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика -- Химия термической и нетермической активации -- Плазмохимия
$2: rubbk
$a: Химические науки -- Физическая химия. Химическая физика -- Химия термической и нетермической активации -- Плазмохимия
$2: rubbk
650
#1
$a: Интегральные схемы -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Травление -- Оборудование
$2: rubbk
$a: Интегральные схемы -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Травление -- Оборудование
$2: rubbk
653
##
$a: ионные процессы в плазме
$a: ионные процессы в плазме
653
##
$a: реактор плазмохимического травления
$a: реактор плазмохимического травления
720
1#
$a: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)
$a: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (МГУ)
787
11
$w: 010206308
$i: Автореферат
$w: 010206308
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-1/732
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 19-1/732
$x: 81
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010209000/rsl01010209071/rsl01010209071.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010209000/rsl01010209071/rsl01010209071.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 010206308
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 010206308
$m: Диссертация
$n: Автореферат