Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Санкт-Петербург, 2020
Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Санкт-Петербург, 2020
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Морозов, Иван Александрович. Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Морозов Иван Александрович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»]. — Санкт-Петербург, 2020. — 161 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010252023
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Санкт-Петербург
Год издания
2020
Объем
161 с.
Ответственность
Морозов Иван Александрович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»]
ББК
З854-02,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02386nam a22003377 4500
001
010252023
003
RuMoRGB
005
20211215160920.0
008
201028s2020 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д50-21
$b: RuMoRGB
$a: д50-21
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З854-02,0
$2: rubbk
$a: З854-02,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Морозов, Иван Александрович
$a: Морозов, Иван Александрович
245
##
$a: Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Морозов Иван Александрович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»]
$a: Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Морозов Иван Александрович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»]
260
##
$a: Санкт-Петербург
$c: 2020
$a: Санкт-Петербург
$c: 2020
300
##
$a: 161 с.
$b: ил.
$a: 161 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 149-155
$a: Библиогр.: с. 149-155
541
1#
$c: RBT
$d: 20201010
$e: 2020.12.10.19
$c: RBT
$d: 20201010
$e: 2020.12.10.19
541
1#
$c: OEK
$d: 20210211
$c: OEK
$d: 20210211
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Фотоэлектрические приборы -- Проектирование
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Фотоэлектрические приборы -- Проектирование
$2: rubbk
720
1#
$a: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
$a: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
787
11
$w: 010252022
$i: Автореферат
$w: 010252022
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 21-5/32
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 21-5/32
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010252000/rsl01010252023/rsl01010252023.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010252000/rsl01010252023/rsl01010252023.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 010252022
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 010252022
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Морозов И.А.. Документ был опубликован в 2020 году. Место издания — Санкт-Петербург. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Физико-технологические основы процессов микроструктурирования для создания вертикально-ориентированных фотопреобразовательных структур на основе кремния : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов.