Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.04
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.04
Томск, 2020
Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.04
Томск, 2020
Библиографическое описание
Скопировать
Филиппов, Иван Андреевич. Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.04 / Филиппов Иван Андреевич; [Место защиты: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники]. — Томск, 2020. — 22 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010255023
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов : автореферат дис. кандидата технических наук : 01.04.04
Место издания
Томск
Год издания
2020
Объем
22 с.
Ответственность
Филиппов Иван Андреевич; [Место защиты: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники]
ББК
З852.39-06,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02022nam a22003017 4500
001
010255023
003
RuMoRGB
005
20220120120831.0
008
201127s2020 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: АР-П-20-006629
$b: RuMoRKP
$a: АР-П-20-006629
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.04
$2: nsnr
$a: 01.04.04
$2: nsnr
084
##
$a: З852.39-06,0
$2: rubbk
$a: З852.39-06,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Филиппов, Иван Андреевич
$a: Филиппов, Иван Андреевич
245
##
$a: Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.04
$c: Филиппов Иван Андреевич; [Место защиты: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники]
$a: Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.04
$c: Филиппов Иван Андреевич; [Место защиты: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники]
260
##
$a: Томск
$c: 2020
$a: Томск
$c: 2020
300
##
$a: 22 с.
$a: 22 с.
541
1#
$c: RBT
$d: 20201028
$e: 2020.12.28.24
$c: RBT
$d: 20201028
$e: 2020.12.28.24
650
#1
$a: Физическая электроника
$2: nsnr
$a: Физическая электроника
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Полупроводниковые приборы -- Транзисторы полевые. МОП транзисторы -- Технология производства
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Полупроводниковые приборы -- Транзисторы полевые. МОП транзисторы -- Технология производства
$2: rubbk
720
1#
$a: ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»
$a: ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»
787
11
$w: 010255024
$i: Диссертация
$w: 010255024
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 20-5/1438
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 20-5/1438
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010255000/rsl01010255023/rsl01010255023.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010255000/rsl01010255023/rsl01010255023.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов : автореферат дис. кандидата технических наук : 01.04.04 » , автор — Филиппов И.А.. Документ был опубликован в 2020 году. Место издания — Томск. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных СВЧ транзисторов : автореферат дис. кандидата технических наук : 01.04.04 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.