Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками
автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04
автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04
Томск, 2020
Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками
автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04
Томск, 2020
Библиографическое описание
Скопировать
Юшков, Юрий Георгиевич. Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04 / Юшков Юрий Георгиевич; [Место защиты: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники]. — Томск, 2020. — 32 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010258680
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками : автореферат дис. доктора технических наук : 01.04.04
Место издания
Томск
Год издания
2020
Объем
32 с.
Ответственность
Юшков Юрий Георгиевич; [Место защиты: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники]
ББК
З234.08-5,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02076nam a22003017 4500
001
010258680
003
RuMoRGB
005
20220218094307.0
008
210217s2020 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: АР-П-21-000737
$b: RuMoRKP
$a: АР-П-21-000737
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.04
$2: nsnr
$a: 01.04.04
$2: nsnr
084
##
$a: З234.08-5,0
$2: rubbk
$a: З234.08-5,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Юшков, Юрий Георгиевич
$a: Юшков, Юрий Георгиевич
245
##
$a: Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками :
$b: автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04
$c: Юшков Юрий Георгиевич; [Место защиты: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники]
$a: Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками :
$b: автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.04
$c: Юшков Юрий Георгиевич; [Место защиты: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники]
260
##
$a: Томск
$c: 2020
$a: Томск
$c: 2020
300
##
$a: 32 с.
$a: 32 с.
541
1#
$c: RBT
$d: 20210131
$e: 2021.03.31.28
$c: RBT
$d: 20210131
$e: 2021.03.31.28
650
#1
$a: Физическая электроника
$2: nsnr
$a: Физическая электроника
$2: nsnr
650
#1
$a: Энергетика -- Электроэнергетика. Электротехника -- Электротехнические материалы и изделия -- Электроизолирующие материалы и изделия -- Технология производства -- Электронно-лучевая технология -- Оборудование
$2: rubbk
$a: Энергетика -- Электроэнергетика. Электротехника -- Электротехнические материалы и изделия -- Электроизолирующие материалы и изделия -- Технология производства -- Электронно-лучевая технология -- Оборудование
$2: rubbk
720
1#
$a: ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»
$a: ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»
787
11
$w: 010258681
$i: Диссертация
$w: 010258681
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 21-5/102
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 21-5/102
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010258000/rsl01010258680/rsl01010258680.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010258000/rsl01010258680/rsl01010258680.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками : автореферат дис. доктора технических наук : 01.04.04 » , автор — Юшков Ю.Г.. Документ был опубликован в 2020 году. Место издания — Томск. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками : автореферат дис. доктора технических наук : 01.04.04 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.