Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов : диссертация . кандидата технических наук : 05.00.00
Москва, 1967
Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов : диссертация . кандидата технических наук : 05.00.00
Москва, 1967
Библиографическое описание
Скопировать
Тихонов, Юрий Николаевич. Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.00.00. — Москва, 1967. — 167 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010390125
Автор
Заглавие
Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов : диссертация . кандидата технических наук : 05.00.00
Место издания
Москва
Год издания
1967
Объем
167 с.
ББК
з264.545-060.14,0
Библиотека
LDR
01136nam a2200265 i 4500
001
010390125
003
RuMoRGB
005
20231109092157.0
008
200819s1967 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д9027-67
$b: RuMoRGB
$a: д9027-67
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.00.00
$2: nsnr
$a: 05.00.00
$2: nsnr
084
##
$a: з264.545-060.14,0
$2: rubbk
$a: з264.545-060.14,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Тихонов, Юрий Николаевич
$a: Тихонов, Юрий Николаевич
245
##
$a: Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.00.00
$a: Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.00.00
260
##
$a: Москва
$c: 1967
$a: Москва
$c: 1967
300
##
$a: 167 с.
$b: ил.
$a: 167 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 159-167
$a: Библиогр.: с. 159-167
650
#1
$a: Технические науки
$2: nsnr
$a: Технические науки
$2: nsnr
720
1#
$a: Моск. ин-т стали и сплавов
$a: Моск. ин-т стали и сплавов
787
11
$w: 006485421
$i: Автореферат
$w: 006485421
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: Дк 67-5/3035
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: Дк 67-5/3035
$x: 81
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 006485421
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 006485421
$m: Диссертация
$n: Автореферат